Download - TOHFLON 氟 樹脂配管 部件介紹
TOHFLON
氟樹脂配管部件介紹
(1) 配管 (Tube) NewPFA Tube(φ1/8” ~ φ2”)(2) 防止帶電・加熱機能接管 Tohflon Panda Tube(3) 非金屬大口徑配管接頭 Flarerib Joint(φ1” ~ φ2”)(4) 高純度薬液・ CMP Thriller 配管閥 Pinch Valve(Prototype 開發中 )
(1)NewPFA Tube(φ1/8” ~ φ2”)
特徵◎ 乾淨的生產環境→隔離壓製室及收納・包裝室,以保持乾淨無菌的 作業環境各式各樣長度的接管樣式→ 標準: 3/5/10/20/30/50/100/150(m)→ 其餘任何長尺規格亦皆有對應◎ 低溶出金屬→ 導入螺旋圓柱的模具,能有效抑制金屬離子溶出 的情形。
金属名 溶出量(ppt) 金属名 溶出量(ppt)
Al 23.6 Bi ND
Ca 120.0 Cd ND
Co ND Ga 9.0
Cr 8.2 Pb 8.0
Cu 23.6 Sr ND
Fe 81.0 Tl 1.0
K 33.2 V ND
Li ND Ge ND
Mg 43.0 Mo ND
Mn ND Nb ND
Na ND Ta ND
Ni 27.9 Ti 211.0
Zn ND Zr ND
Ag ND Au ND
Ba 3.0 Sb NDBe ND Sn ND
◎NewPFA接管金屬溶出資料在無菌室裡準備單邊末端密封的NewPFA 接管,用超純水清洗十分鐘之後,在接管內加入 33g 的0.1N 硝酸,放置七天,然後用精工 (SEIKO) 電子製的 SPQ9000型 ICP-MS 測定。
◎收納・包裝室: Clean class:1000 以下
◎ 壓製室: Clean class:1000 以下
●將壓製室及收納・包裝室隔絕 ● 長尺梱包品 ND表示低於檢出界限。
FLARERIB JOINT量環 (PE)
外環 (NewPFA)
本體 (NewPFA or PTFE)
連接螺帽 (NewPFA)
接管 (NewPFA)
●接管尺寸 Tube size
(MPa)
ThicknessO.D. I.D.
サイズ サイズ 許容量
(kgf/ cm2)
外径 ×内径
O.D.×I.D.
Tube Burst Pressure
0.6
0.5
Suitable Pressure
(MPa) (kgf/ cm2)
6.1
5.1
4.0
1.59 ±0.15
0.5
0.4
2.19 ±0.15
2.58 ±0.20
4.6
許容量
45.64
22.22
1.59
(mm) (mm)
15.8719.05
25.40
38.10
50.80
1(1/ 2)"×1(21/ 64)"
2"×1(51/ 64)"
33.73
±0.12
±0.25
3/ 4"×5/ 8"
1"×7/ 8"
(mm) (mm)
±0.09
Size
外径 内径
1.6
±0.20
Size Permitted Quantity
サイズ
Permitted Quantity Size
16.1
2.4 24.5
2.0 20.4
1.8 18.5
±0.15
(mm)
常用耐圧 チューブ破壊圧肉厚
●FLARERIB JOINT & NewPFA TUBE ●接管加熱加工機 Hot flaring tools
< FLARERIB JOINT 的3大特徴>○對應大容量配管有 1 吋、 1(1/2) 吋、 2 吋不同的配管用大型配管接頭,
能對應 300 mm 半導体製造系統、液晶製造系統、化學物製造等大容量的藥液供給。
○實現無金屬配管將管線的厚度規格化,作為高純度藥液的配管。藉由使
用 FLARERIB JOINT ,不含金屬原料的氟樹脂製配管可以適用於各種藥液供給量。
○大幅減輕施工及維護的作業藉著本社獨特的產品構造,加固螺帽的作業可以大幅減
少,也能增加作業的便利性。
* 幾乎不需再加強連接螺帽的固定
* 構造簡單,方便緊固螺帽
* 配管體積小重量輕
* 耐冷熱溫差
* 防止連接螺帽和接管同時迴轉
* 接管耐彎且不易變形
* 液體換置方便迅速
FLARERIB JOINT 置換特性評估
洗浄回数と溶出パーティクル数UPW洗浄 =4分 / 1回
(① 1 → ②分間振とう 3分間放置 )
10
100
1,000
10,000
1 2 3 4 5
洗浄回数(回)
<0.5
μm
>溶
出パ
ーテ
ィク
ル数
粒径
以上
(個/
UP
W 1
mL)
弊社 Flarerib J oint
他社継手
〇停留於接頭/接管間的微粒子 細微觀察 (×1000)
【 他社継手・チューブ配管 】
【 当社継手・チューブ配管 】
30m
m40
mm
30m
m30
mm
30m
m
配管樣本
微粒樣本液: Polystyrene dispersion 洗淨液:超純水 (UPW)實驗環境:無菌室 (Class 100)微粒記數器: LASAIR(PMS 社製 )
微粒溶出實驗<實驗方法>( STEP 1 )使用 PFA 管作為接頭。(製作樣品配管)( STEP 2 )將 500mL 的樣本液填充至樣品配管。放置十分鐘後倒出。( STEP 3 )將 500mL 的 UPW (超純水)填充至樣本配管後,搖晃約一分鐘,然後放置三分鐘。( STEP 4 )用 UPW 沖洗後倒出,計算溶出微粒的數量。之後,反覆進行( STEP 3 ) & ( STEP 4 )四次。
清洗次數以及微粒溶出量
(2) TOHFLON PANDA TUBE具備帶電防止效果機能之氟樹脂接管 (Tube)
断面形状
特 徵
用 途
○ 帯電防止効果○加熱機能○耐薬品性・耐熱性○ 接管内部可視性
○Si Ball 搬送用接管○Si Ball 乾燥過程用接管○可燃性抗蝕劑搬送用接管○ 其他。加熱・帯電防止用途等
- 30000
- 25000
- 20000
- 15000
- 10000
- 5000
0
パンダチューブ PTFE PFA
チューブ径φ 3.8Xφ 1.5
摩擦後の帯電位(
V)
【 摩擦帯電後の電位比較 】
NewPFA Tube 規格 (φ1/8” ~ φ2”)内径 チューブ破壊圧 常用使用圧力
Size Size width Size Size Size width (出荷基準値)(inch) (inch) (mm) (mm) (mm) (mm) (mm) (MPa) (MPa)
φ1/8 φ1/16 3.18 ±0.05 (1.59) 0.80 ±0.10 - -
φ1/8 φ11/128 3.18 ±0.05 (2.18) 0.50 ±0.05 6.4 1.6
φ1/4 φ5/32 6.35 ±0.05 (3.95) 1.20 ±0.10 8.0 2.0
φ1/4 φ11/64 6.35 ±0.05 (4.35) 1.00 ±0.10 4.5 1.1
φ3/8 φ1/4 9.53 ±0.05 (6.35) 1.59 ±0.15 6.0 1.5
φ3/8 φ19/64 9.53 ±0.05 (7.53) 1.00 ±0.10 3.0 0.7
φ1/2 φ3/8 12.70 ±0.07 (9.52) 1.59 ±0.15 4.2 1.0
φ3/4 φ5/8 19.05 ±0.09 (15.87) 1.59 ±0.15 2.4 0.6
φ1 φ7/8 25.40 ±0.12 (22.22) 1.59 ±0.15 2.0 0.5
φ1(1/2) φ1(21/64) 38.10 ±0.20 (33.73) 2.19 ±0.15 1.8 0.5
φ2 φ1(51/64) 50.80 ±0.25 (45.64) 2.58 ±0.20 1.6 0.4
内径 チューブ破壊圧 常用使用圧力Size Size width Size Size Size width (出荷基準値)
(mm) (mm) (mm) (mm) (mm) (mm) (mm) (MPa) (MPa)
φ3 φ2 3.0 ±0.05 (2.0) 0.50 ±0.05 6.0 1.5
φ4 φ2 4.0 ±0.05 (2.0) 1.00 ±0.10 10.0 2.5
φ4 φ3 4.0 ±0.05 (3.0) 0.50 ±0.05 4.5 1.1
φ6 φ4 6.0 ±0.05 (4.0) 1.00 ±0.10 6.5 1.6
φ8 φ6 8.0 ±0.05 (6.0) 1.00 ±0.10 4.5 1.1
φ10 φ8 10.0 ±0.07 (8.0) 1.00 ±0.10 3.5 0.8
φ12 φ10 12.0 ±0.07 (10.0) 1.00 ±0.10 3.0 0.7
φ19 φ16 19.0 ±0.09 (16.0) 1.50 ±0.15 2.4 0.6
φ25 φ22 25.0 ±0.12 (22.0) 1.50 ±0.15 2.0 0.6
比重: 2.12~2.17引張強度: 15.7~24.5 MPa伸度: 220~320 %
外径 内径外径 厚さ
外径 内径外径 厚さ
FLARERIB JOINT の長期耐久性 ( 増し締め不要 )
●長期冷熱循環 CHAMPION TEST<實驗方法>1999 年 9月在循環系統配管中,為配合接續進行本社開發的 FLARERIB JOINT安裝,開始一日一循環之冷熱循環,金屬接頭裝置進行轉矩之後,不再栓緊,在接頭地方也不會有漏的現象產生。
30日的測試之後,在使用上完全沒有問題,客戶評價也很高。
★装置全体 IWAKI社製 PUMP: FW - 80 TANPA: PD - 80W流體: Silicon oil液温 :110℃⇔ 常温(冷熱 運転)サイクル
供給氣壓 :0.35MPa吐出壓 :0.15MPaP Speed:60spm 流 量 : max80L/
min
★接頭 規格: φ1” 、 φ1(1/2)”
■ 引張試験中重量 =1.87kN(183kgf)接管標線延展率=277%接管尺寸: φ1"×φ7/8"
■ 引張試験前重量 =0.0kN(0.0kgf)接管標線延展率=0%接管尺寸: φ1"×φ7/8"
●重複拉力實驗<實驗方法 > 將接管兩端都接上接頭然後兩端都加以拉力,在測量接管的拔除力度以及接管標線間的延展率。此作業使用同一個接頭樣本,並重複7次。
←接管因為拉力 實驗而明顯變 細,但完全沒 有滲漏情形。
●經過重複拉力實驗後的樣本的耐壓測試(重複 100,000 次 ) 經過 100,000 次耐壓測試後,無法確認接管的脫落以及實驗 液體的滲漏。
←在拉力實驗前 ,測試耐壓的 情形。
Flarerib Joint 的實際使用成效例子●NewPFA 接管 φ1(1/2)”×φ1(21/64)” :長尺系統 ●NewPFA接管 φ1(1/2)”×φ1(21/64)” :接管彎曲接續
●NewPFA 接管 φ2”×φ1(51/64)” : Lining tank 的 Outlet ●NewPFA接管 φ1(1/2)”×φ1(21/64)” :雙重配管