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研究者の思いを形にするプラズマ技術

魁半導体 News Release

報道関係各位 2019 年 5 月 22 日

大型装置へ組込み可、フィルム表面処理

小型真空プラズマ装置「NMR－Gts」2019年 6月 3日発売 業界初の高品質・低価格を実現

プラズマ装置を開発・販売する株式会社 魁半導体（京都府京都市下京区、代表取締役 田口貢士）

は、繊維やフィルムなど板状の対象物を均一にプラズマ処理する小型真空プラズマ装置「NMR-Gts」

を新たに開発、2019 年 6 月 3 日に発売します。当社独自の技術により従来の当社卓上真空プラズ

マ装置に比べ販売価格を約 1/3 と大幅に抑え業界最安値で販売します。小型化で低価格を実現した

ことにより新規分野への参入と生産ラインの大型装置への組込み用途での販売を目指します。

■革新的な構造技術で業界初の低価格を実現

プラズマ処理技術は対象物の表面改質による接着や洗浄など様々な用途で利用され、半導体市場の

ほか様々な分野での利用が拡大しています。当社プラズマ装置の多くは研究開発用として利用され

ていますが、年々幅広い分野からお問い合わせがあり今後の市場拡大が期待されます。

当社はプラズマ装置のパイオニアとして

独自の高い技術力を駆使し、従来の一般

的なプラズマ装置とは全く異なる新構造

を確立し大幅コストダウンに成功、

プラズマ処理の品質を維持しながら低価

格の小型真空プラズマ装置「NMR-Gts」

の開発に成功しました。当社は導入しや

すい価格帯で販売することで、新規分野

でのプラズマ技術の導入が加速し市場拡

大に繋がると考えています。

■フィルム状の表面処理や

装置組込みにも対応

当社のプラズマ装置の多くは装置単体で使用されていますが、今回発売する新製品 小型真空プラ

ズマ装置「NMR-Gts」は小型・軽量のコンパクトな装置であるため、ワイヤーボンディングなど

生産ラインで使用される大型装置向けの組込みユニットとしても対応しています。

（写真：小型真空プラズマ装置「NMR-Gts」本体）

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研究者の思いを形にするプラズマ技術

魁半導体 News Release

■新製品概要■

[製品名] 小型真空プラズマ装置「NMR-Gts」

[販売価格] 195,000 円（税込）

[発売日] 2019 年 6 月 3 日（月）

[目 標] 初年度 ５００台

[特 徴] 業界最安値、大型装置への組込みに対応。

[用 途] 繊維、フィルムなど板状の対象物の表面処理や前処理、および新規需要を開拓

[小型真空プラズマ装置「NMR-Gts」仕様]

型式 NMR-Gts

外形寸法 W230mm × D221mm × H120mm

重量 約 4kg

ステージ寸法 φ100mm × 電極間距離（H）6mm

ガス導入 不要

操作系 真空ポンプおよび高圧の各スイッチによる手動操作

ポンプ接続 1/4 インチチューブ継手(Swagelok)

ポンプ排気速度 50L/min 以上が必要

ポンプ到達圧力 10Pa 以下が必要

[オプション]（本体に付属していません。別途ご購入いただけます。）

コントロールユニット NMR-Gts 単体ではできない、タイマーによるプラズマ照射時間の

制御や、ワンボタンによるオート処理が可能となります。

真空ポンプ NMR-Gts に最適な真空ポンプをご用意しております。

◆小型真空プラズマ装置「NMR-Gts」ｳｪﾌﾞｻｲﾄ URL：https://sakigakes.co.jp/item.php?ii=76

【お問合せ先】 株式会社 魁半導体 https://sakigakes.co.jp/

TEL：075-204-9589 ／ FAX：050-3488-5883 ／ E-mail：s.sales＠sakigakes.co.jp

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