X-ışını spektrometresi diğer optik spektroskopiler gibi elektromanyetik ışının emisyon, absorbsiyon, saçılma, floresans ve kırınımının ölçümüne dayanır.

X-ışını floresans ve X-ışını absorbsiyon yöntemleri atom numarası sodyumdan büyük bütün elementlerin kalitatif ve kantitatif tayini için kullanılır. Özel donanımlarla atom numarası 5-10 arasında olanlar da belirlenebilir.

X-ışınları 1e-5 Å ile 100 Å arasını kapsar. Ancak klasik X-ışını spektroskopisi 0,1-25 Å arasındaki bölgeyi kullanır.

1 Å=0,1 nm=1e-10 m

Bir metal hedefin yüksek enerjili elektron demeti ile bombardımanı

Bir maddenin X-ışınlarına maruz bırakılarak onun da X-ışını yaymasının sağlanması

Radyoaktif kaynaklar Sinkrotron radyoaktif kaynaktan

X-ışını emisyonu X-ışını absorbsiyonu X-ışını floresansı (XRF) X-ışınları kırınımı (XRD)

Her çeşit numunede, sıvı, katı ve toz farkı olmadan elemental analiz yapmak için kullanılan en iyi analitik tekniklerden birisidir.

basit ve hızlı numune hazırlığıyla Beriyumdan (Be) Uranyuma (U) kadar olan element konsantrasyonlarını ppm seviyesinin altında yüksek kesinlik ve doğruluk oranıyla vermektedir.

EDXRF (Enerji Dağılımı XRF): Analiz edilen örnekten elde edilen X ışınlarının enerjisini hesaplayarak elementleri tayin ederken gelen ışınları da sayarak element miktarlarının belirlenmesini sağlarlar.

WDXRF: Örnekten elde edilen X ışınlarını önce özel kristallerde yansıttıktan sonra yansıma açılarını tespit ederek elementleri ve ışınları sayarak da miktarlarını belirler.