application of microforging to sicn mems fabrication
TRANSCRIPT
���������� � ������� � �� ���� ���� ���������
���� ������� ����� ������ ����� ����� ��� ��� ����� �� ���������� �� �� !��� "�! #� ����$�� ��%!� ��&�
����������� ��� ������ ������������ ��� ������ � �������� ������������ ��� ��������� ���������
�������� ��� ������� ���������� ��������!� "��������# ������ $������ �� %&'&()*+,� "������������� ��� ������� ��������� ��� �������� ����������� ����!� �������� ��������� ��������� ��� ����#��� ������ �����!�
"��������# ������� ������� ������� �- '+%+.� "��
��������
�������% �' ���$���% ��� ��������(� ��'�'��� ��������% �� ���� ����������% �����%� � �!� ��'� �� � � ���������% �!�� �� ��
������'� �' �!� �����%� � �����(�' ��������� �% �������' �� �!� �)�%�� ��������% %�� �� ����� � �!���� � � �!� ��������� �
������� ���� �% ���!����� ����*� �!�� �� ����� '��� �����%%� � +�� �)������ �!�% �% %� �,��� � �!� '�(������� � �
�������%�� ��������� ���!�-�� ��� � ���$��� ������%�� �� %����� ���������'� .����/ ����� 0 �!�% ��%�� %!��*� � ��%����!
������ �!� ���� %�������� �' �!� �������������' ���' '��� �!����� �����%%�% ���'% �� %� �,��� %���%%�% �!�� �� ����* �!� �������
%��������� 1���� �� �����%� � �������! �� �(������ �!�% ������� �!�� �����% � '����'� ����� �� �!� ��� � %!��*� � ��%����! �!�����
�����%%�%� �!��! ��%�� �% � ����(��� �!���� �� 2� �!�% �'� �� �����%� �' '�%����� � ������� � �����%% �!�� ���������% '����'� �'
%!�� �����%�����(� ��%���% �� ������% ���� ������� �����%��������%� � 3443 ��%�(��� ������ ��� ��� �� !�% ��%��(�'�
/�#����0 ����5 ����5 �������%�5 ������� �5 ��������5 �������
� ���� ������
�������% ��� ��������(� ��'�'��� ��������% �� ����
����������% �����%� � �!� ��'� �� � � ���������% �!��
�� �� ������' �' �!� �����%� � �����(�' ���������
�% �������' �� �!� �)�%�� ��������% %�� �������#��! �!�
'�(������� �' �%� � �� ��������%� �� �����%%�
���!�-��% ���%�� �' ���! �!�%�� �� �%%��% �' �!���� �%
���� ��1���� �� ����� %��! � ������� �!�� !�% ���� �' � ���
'�(������� � � �������%�� ��������� ���!�-�� ��
���$��� ������%�� '���(�' %����� ���������'� .��6�7�6�4�6�8/
!� !������������ ���� 96:�
��(������ �������% %��! ��� �' ��;�< ��� ��������(�
�� !� !������������ ����������%� 2!� ��������� � ���� ��
��;�<���%�' ������� %��������% �%����$ �(��(�% %����� �
������� ���'�� �� � ����������� !� !�� �!� 6=44�� 96:�
2!� ���%%��$ %����� �''���(�% �� '� ��'� �������
���!����� ���������% �� %��! � !� !������������� �����(���
�!� ���'�� ����� �% �� ���������� ���! �(������� ���������
���� ���!�-��%� �!������ (���� '���%���� .���/ �
��� �% � �� ���!�-�� �!��! �(��(�% %����� ��������!��
� �' �� �� �%�' �� �������� ��� !� !������������
���� 93:� 1���(��� �!� ��� �' ��������!�� �
��� ��� �������%��� �' �)��%�(�� ��� �� �!� �����
����� � ���� �� �% '�,���� �� �������� !� ! �%���� �����
���� %��������%�
� ������$ '�(�����' �����%%� ���!�-�� � �&�������
���$��� ���� ������� !�% ��� ������' �� �������� !� !�
����������� ���� �������% ���! !� !�� �%���� �����
�' ����� ��%� �!� �!�� � ��� ��� �������! 9;:� 0%���' �
�%� � ���%%���*�' ���$��� ���'�� �% �!� %����� ���������
� ��-��' ���$��� ������%�� �% '������$ ��%� ��� ���������
����' ���'% �' �!� �!����%�� �� ��� ���$��� ����
%��������%� +����$� ���* ���� ������� %��������% ���
������' �$ ���%%���*� �' �!����� '������%���� �
�!� ���$��� �� �����������% �% ��� �% 6444���0 ���� ����������%� �����%�������� '���%��% ���
������(��$ %���� �' ��� �� ���%� �� '���%�� �% � �!�
�� � � !�'��'% � �����%� #��! �''������ �%�%�����
���%%��� '��� ���%%���*� � �!� �����%�' �%���% �$�����
'���% ��� ��*��$ �� '��%� ��� ����� �!�$ ����' �� !� !
��� ! ���%%��� �� ��� (��'% �%�'� �!� %��������� �� �!�
'����� �������%�� ���!�' �% �%�������$ %������� �� ����
���������� 2!� ��%���� %� �� �!�%� �' �����!��% ����
������� �����%�������� %�����% ��� %!�$ �' � ������
����*% �' �� (��'% ��� ��%��(�' � ��� ��� �% � �!�
���%%�%����� 9;:� 2!� ����� %!��*� � �� ����! �� �� ;4>�
�!��! %� �%�% �!�� � ��� � '� ��� � '�%�,����� �������'
��%��% �' ��������% � ?= .3443/ 6<;@6=6
� �����%��'� ���!���
�)���� �������A $���B������'���'� .�� ���/�
4?3<�<3<7C43CD @ %�� ��� ������ � 3443 ��%�(��� ������ ��� ��� �� !�% ��%��(�'�
E00A � 4 ? 3 < � < 3 < 7 . 4 6 / 4 4 7 3 = � 7
'��� �!� �!����� ��������� 2!� ���* '�%��$ � ����
���� %�����% �% ����� 3�;= C��; �!��! �% � ��'
� ������ ���! �!� %���' �!�%� '�%��$ '�'���' ��� 1 �
���%%��� ����%�����$ .3�;; C��;/ �' ��� ����� �$���
����$ � ���� ���'�� .3�;4 C��;/ 9<:� 2!������� �� �� ��
�����'�' �!�� �!� ��%���� �������%� ���� %�������� �%
���$ '�%�,�' ���! (�������$ � ������%��$� $ �������
�%�� ���� �������% ��������' �!��� ! �!� ���'�� �����
����� ���� ����%� �(� ����$� !� ! ���%%��� .8<4 �E�/
�!� �!� ��� ��'$ �% ����'� �!� ��� ����%��$ �% %����
��� �� �!� 8> 9<:� 2!� �������%� ����� �� %� �,����$
�����(� �!� �����%�������� �% ���� �������� ���������% �
���� ����� �������%� 2!� !� !������������ ���������%
� �������%� ���� ��� ���������� �� �!�%� � ��� �'
%������� �� �!�%� � %����� 9;:� ��! ���*��% !��'�%%
.6= FE�/ �' ���%��� ��'���% .6=G FE�/ !�(� ��� ����
%���' �%� � ������'������ %$%���� 2!� �����!��%
���� ������!% '������%� �� ����� 6<44�� � (�����
�' ��� �!������$ %����� � ���� � �� �� 6744�� 9=:�
+���!������� �� !�% �)�'���� ��%�%���� �� �� 6844�� �
��� '�� �� �!� ������� � � !� !�$ ���� %����� �)�'����
��$�� 98:� ����� ��*� ���� ��%� �)!����% ��' ����� ��%�%����
�� !� !������������ 9;:�
2!� ��������� � �!� ��������(� !� !������������ �����
�����% � ���� �����%����%� �' �!� ��-�� ���������
�����������% � �!� �������%�� �������! ��*� ����
���� ��������(� ��������(�% �� � ��'� �� � � ��������
���%� �� � �����%���� �����%��� �!�����% �' ������
� ��%� �!��� ��������% �' %��������% ��� ��-����' �� ��%�%�
'�(����,����� �' '������%����� �)!���� ��' �)�'����
��%�%����� �' ������ ��'���!����� ���������% �� !� !�
�����������%� +���!������� �!��� ���!����� ���������% ��
�� �������' �� %��� '� ��� (�� �!� ��������� ��(�� '�%� �
�!� ���$��� ������%��� �!�%� ����'�� �!� %������� �
�(������� ���������% �' ���� '�%� ��%�����% 9=:�
2!� ���� �������%�� �����%% �(��(�% �!��� *�$ %���%
9;:A .6/ � ��� ��� ���$��� ������%�� �% ��%� ��� �
�������������' ���' �' �!������$ %�� �� ����� 3=4�� ��
��� � ��%���� ���%����� ���$��� %���' %��������5 .3/ �!�
%���' %�������� �% �!� ���%%���*�' �� ����� <44�� �'��
�%�%����� ���%%���5 .;/ �!� ����������� �����%�������� �% �!�
�$���$H�' �� ����� 6444�� �� ��� � '�%�� ������!�� ����������� %��������� ��� �� �!� ����� � �������%�� � !� !
�%���� ����� ;����� %�������� �� �� ��������'� ���� �!�
����������� ���$��� �% ��%���� ���� �!����%�� �' �!�
%!��*� � '��� '������%���� �% ������ �!� %!��� �'
'�,���� � �!� �����%�������� ���� �� ������' ���� �$��
��$%�%� �)���� �!� '���%��% ��� %������ �!� �!�� �
��� ��� ���'� #� �$������$ �%� %��'��' ���!� ���!�� ����
��%%�% �� �������� %�� ���$����� ���'%� �� � ��� �!����
��%�%�� � %� �,��� ��������� �!���� � � �!�% �����%% �% �!�
���(���� � ������� ����*� '��� �!� ���%%���*�
�'C�� �$���$%�% �����%%�% �!��� �!� ������(��$ ���* ����
���� �'�� ��% ��� � %!��*� �� 0 �!� %!��*� � �% �(���$
��%�����' �$ �!� ���'� �!� ������� ��$ ����*� �
�������! �� �(������ �!�% �������� ����*� �% �� '����'
�!� %�������� ���� �!� �!����%�� �����%%� ��� �!�% �% ��
���(����
#� !�(� �%�' �!��� ��(������ '����'� ���!�'%A
'����� ���!����� '����'� � ��%� ���'� �' '�%%��(�'
���'� ��� �� � �!�%� !�% ��� ���������$ %���%�����$�
�% � ��%���� �� �����%� � �� ���!�' �� ��!��(� '����'�
�!��! �%�% � ������� �' �!� ��� %�������� �% �!� ���' �'
���!����� ����� �� ��������� '����'� � ���� �!�%
�����%%� �� ��%� �%� � ���� %� �� ��$%��� %��%����� �!��!
���������% �!� %�������� � �� ��� �����%��������% ��� �!�
%��%����� �$ '�%%������ � �!� %��%������ 2!� ��%��� �% � ����
%��'� �!����%�� ������� �!�� �% �� %��&��� �� ���
%����� ��� �!� ���' �!� �� %!��*% '��� �!� %��%�-���
���%%���*� �' �$���$%�% %���%� �' �!�%� �� �'�� ��% �
'��� � '��� �!�%� �����%%�%�
� ����������� �� ���������� ��� �
#� �������� ���� ������� ���� �$ �������%�� �
��-��' ���$��� ������%��� �$������$ �!� �����������$��(����
���� ������22� .��� ��)�'� �����$� I��/� ��� �I�
G .��� ����� �!�� �����/ �!�����%�%� ��������'% ��'�
�$ %��'��' �!������!� ���!�� ���!�'%� 2!� ��'% ������
�!� �!����%�� ������%��� �!� ���'� �' �!� %��%����� ���
�$������$ -���� %��� � �% � ��%���� '��� '����� ���!�����
'����'� � �!� ���* �!����%�� %�������� ��$ ��� ����� �!�
�������% ������ �!� �!����%�� %�������� �' �!� ���' �'C
�� %��%������ 2!� ���* �!����%�� ������%�� ��$ %���* �� �!�
����% � �!� ���' �' �!� %����� � %��%������ �!�%� '����
� �!� �����%��������� ���� ���%%���*� �' �$���$%�%�
������2 ���� �'�� � � %!��*� � �% !� ! �% ����� ;4>�
�!��� �!� ��*�' �I�G �!�����%�%� ���� �)������� ��%%
%!��*� � �' �!� %��%����� �� �� ���� #!� %��&����' ��
%��! � ��� � %!��*� � ��%����!� �!� �!����%�� %�������� �%
!� !�$ %���%%�' '�� �� �!� ��%������� � �!� ���' ����% �'
%��%������ �' �!�%� %���%%�% �� ���' �� �����%��������
'��� � �$ ����*� � �!� ������� %���'� 2� �(��' %��! ����*�
� '��� �� �� �����%� � ���!�' ��%�' � �!� �%� �
������� �' ���'% �' ���!����� ����� �� '����' �!�
�����%�������� ���� �!����%���� � ��'��� �� ��� ���
%���%%��'��� ��%����� '��� ���%%���*� �' �$���$%�%�
1� !������%�� �� � �% � ��������� ���!�' �!�� !�%
������ �����%� �$ ������� � ��'�� ���%��� ���*�
�!��� ��$ %����� ��% !�(� ��� �����$�' �' �����%%
��'��% '�(�����' �' (���'���' 97:� 1���(��� �!�%� ���!�
�-��% !�(� �� $�� �� %�� ���������� � ������� ����
���������� 0 �!�% %��'$� �� �����$ � ������(��$ %����� %��
������� � ���!�-�� �� '���%����� �!� �������� � �!�
�������!5 ����� ���* ���� ��%�'�� ���� %��!�%������'
���!�-��% �' �����%% ������H�����
������� �' ���'% �� �� '�(�'�' ��� ��� ���� ����% �$
�!� ��$ �!� ������$�� �% '�%� �'� 0 � ��%���(� ������$�� �%
�%�'� �!��! ��%�����% �!� ���� %��������� � ��%���(� �� �
%���� �% ��'�� #!��� �� � ���(� ������$��%� � �����%��'�
� � ���(� ������$�� �� � �����'��� �% ������'�
6<< 12 -�� �� ��2 3 ������ ��� �������� � (4 +&&+! 5*'6545
2!� %�����,�' %�� ������� � ���!�-�� %!���% %����������%
���! !�� ����%%� �������������� ���!�'% 9G:� 2!�
��������� �����%%�% � ������� �' ���'% �%� ���!
��%���(� �' � ���(� ������$��% ��� '�%�����' ������
+252 ������� ������� �����7�#
+��%�� �% %!�� � +� � 6� �� �������� � ��%���(� �I�G
�!�����%�%� ������$�� � � %����� %��%������ �!��! !�%
�!� %!��� '�%���' �� �!� ���� �����%��������� ��� �% ��� ��
�!� �!� ���� �����%�������� �� �����%��� �� �!� %!��*�
� � ���%�' �$ ���%%���*� �' �$���$%�%� 2!� � ��$�� �
�!� ������� ��� .34@<4 �� � �!�% ���*/ �% ������' ��
�!� ��� � �!� ������$��� �' �%%����$ �% �����' ��� �
���%%��� �$��'��� �!��! �%�% ���%����� �% �!� ��'���
�!��� ! �!��! ���%%��� �% ������'� � ������%%�(� ���� �%
��'����$ ������'� '��� �!��! �!� �!� ������� ��� �%
�� �' ��� � � ���(� ���' �' �!� ���%����� ��$�� %��(�% �%
� ���' !��'��� 2!� '�,���� � �!� ����������' '���'%
� �!� ��� �!��*�%%� �!� ������' ���%%���� �' �!� �� �'��$ �
�!� ��*�' �!�����%�%� ������$��� ���!�� ! �� !�(� ��
%��'��' �!�%� �����������%!��% � '���!� +� %� 3 �' ; %!��
�)�����% �!�� ����%����� �!�%� �������%!��% �(�� � �� � �
��� �!��*�%% �' ������' ���%%��� �!�� �� !�(� ��' �� ��
����������$ ��%�����
2!� �� �' � ���(� ���'% !�(� �!� �(��%� %!��� � �!�
��%���(� ������$��� 0� �% ������� �!�� �!� '�������� � �!�
������$�� �% %����� #��! � '�����%� � �!� ��� �!��*�%% �'C
+� � 6� ��� ������� � � ������� ��� ���' �%� ��%���(� ������$���
+� � 3� ���� � ��� �!��*�%% �' �� � ���%%��� � �!� '������ � �!� ������� ��� ���' .%���� �% � ��/�
12 -�� �� ��2 3 ������ ��� �������� � (4 +&&+! 5*'6545 6<=
�� � �����%� � �!� �� � ���%%���� �!� '�,���� � �!�
������� ���' �% �����(�'� J ����%�� �!��� ��� �����% ��
�!� '�,���� �!�� �� �� ������' �' ���%�����$ �!�
�����%% ���������% �� �� �������' �� ��!��(� ������H�'
'�,����� I'�� �����%�' ���%%���� �!� �I�G ������$��
'����% ���!��� ��������$ �� %!��� �����% �' ����� ����
�' �% �!��! ��� %���%% ���%��%� 0����%� �!� �I�G ������$��
!��'�%% �� ��%� �����H� �!� '��������� 2!�% �� ��
��������%!�' �$ �������� �!� �I�G ��%����*� ��������
���� �' ����� �������$� ���! '����� ���������% �
����������� �' ����� �!� �I�G �� �� ��*�' ��� � �����
%������� ��� ���%����� �� $������ ���� �' ����*� 2!�
!��'�%% � �I�G �% ��'����$ �����%�' �����'� �$� 1���
�(��� �!� ���� ������$�� ��'% �� ����* �!��� �!� ����* ��
�% �������� �� �!� $����� �I�G ������$�� �% � ��' �!����
�������' �� �!� ��!�� ��*�' %����%� +� � < %!��% �!� ���
��� �% � ������� �' ���'% ��%�' � ���%����� �' �(���
��*�' $����� ������$��%� ��%�����(��$� 2!� ����� ���� �' �
'�,���� � �!� ���'% �% �����$ �����(�' �$ �%� �(���
��*�' ������$��%�
+� � = �������% �!� ������$��� �!� ������� ��� ���'
�' � ����%��'� �!����%�� %��������� 2!� %!��� �' �% �'
�����% � �!� ������� %�������� ��� ���'�'� �'����� �
��'����� � '�,����� 1���(��� �!�% ���'� ��$ ��
�'(��� ���% � %�������% �!��� �!� %!��� �����% �'
�' �% ��$ ���' �� %�(��� %���%% ���%��% � �!� ,�� %��������
� ��% ���'�' �%� �(������� ��%�� � �!� ������$�� �' �
�% �)������$ %!��� �' !��'� �� �% ��*��$ �� ���� �!� �������
��� '��� �� � � �� �������� �!� ������$�� !��'�%% �%
���%%��$ �� ������� � �
+2+2 �������� ������� �����7�#
2!� %���� � � ���(� ������� � �%%����$� �% %!�� �
+� � 8� �% ��$ %�� !��$ '����� ��� �!� ��%���(� ��� ����
�� ��� �� �%� �!� ���%�'� � �!� ������� ���'� �� ��� �
��$�� � �!� ���%��� ,�� ������ �!� ���%����� �' �������
���� 2!�% �!� ���%��� ,�� �� ��$ ���������% �!� %�������� �
�!� ���%����� �' ������� ���' ���� �� � � ��� ��%�
�������% �!� ���' %����� ��� ���%����� �����������
+� � ;� ���� � ��� �!��*�%% �' �� � ���%%��� � �!� %!��� �' �% �' �����% � �!� ������� ��� ���'%�
6<8 12 -�� �� ��2 3 ������ ��� �������� � (4 +&&+! 5*'6545
0 �!�% ��, ������� �!� %����� %��%����� �' �(�� ��*�'
�I�G � ���(� ������$�� �(�% �!� �!� ��� ���' � %��� ��
%������ �!� �!�� � �!� ���%����� ���� '�%�����' � ��%���(�
�� � ��%�� 1���(��� �!� '�%�'(��� � � �!�% ��%� �% ��%�
�������� ����%� �!� ������� ��� !�% � �!��*�%% ����'
34@<4 ��� �!� ��� ���' '���%��% ��� � �� �� �!� %����% �!� ������$�� '���%��� ��� ���! �!� %!��*� � �
���$��� ������%��� �� ���� ���!�� ���������� �!� '�%� �
���� %��������%� �% � ��%���� �!� ��%���(� ������� �
���!�' �% �������'�
���� �!� ������� ��� �% �� �' �� ���� ������������
�!� �%���� ����� � �!� ��%���� %��������% �% ����� ���$� J��
������$ ���� !��� �% �� '���%����� �!� �������� ��%%����
���$ � �%� ������� �' �!� ��� ���'% �� ��������� �!�
'����'� � �!����%�� ����������� %��������� 0 �!� ������
�!� ������� � ���!�-��% �� �� �����(�' � ��$ ��$%
+� � <� ���� � �!� �I�G ������$�� !��'�%% � �!� '������ � ������� ��� ���'%� �!��! ��� �� ��%��� ��%� %������%�
+� � =� ������� �������%� � ��� ��� ������$��� �� �' ���'� �' ����%��'� �!����%�� %���������
12 -�� �� ��2 3 ������ ��� �������� � (4 +&&+! 5*'6545 6<7
����'� ���%� �!� �� � ������������ �%� � ���������
����!�' '��%� �'C�� %�������%��� ����$ ���� �������� �!�
�� � ����� �' �!���� �!� '���
� ������������ ���������
�%�' � � ��%���(� ������$��� �!� �������� �������%��
�����%%� ����'� '�����% � �!� �����%�' �� '����'�
���!�'� ��� %!�� � +� � 7� ���K$� �!� �����%% ��%�%�% �
�!� ������ %���%A
6� +�������� � ��%���(� �I�G �!�����%�%� ������$�� � �
%����� %��%������ ���� ��%���)��%���� ��*� �' '�(��
������� �!� �I�G �!�����%�%� ������$�� �% ���!������$
%�� ��� ! �� ��%�%� ��'����� �� � ���%%���% ���!���
����������� '��������� 2!� ������$�� �� �� �%�'
�������'�$�
3� I%� �!� %�������' %�� �� � ���!�' �% '�%�����' � �!�
��%� %����� �� ��*� � � ���(� ������� ��� ���'� #�
�%� ���%����� �'�����! �!� ���' �� !��' �' %������
�!� ��� ���' '��� %��%�-��� %���%�
;� �������%� �!� ��-��' ���$��� ������%�� � �!� �������
��� ���' �' ����$ � %� �� ��$%��� ���� ����� �% � ���
��(��� ���� �!� ��-��' ������%�� �% %�%���(� �� ��� �'
!���'��$� �!�% %��� �% '�� � � �� � ����%�!���� #�
�%� � ���� ����� �%���' � � %����� ���� �� ���������
��%��� �����%� � �!� ������%�� %�������� ���� �� �%
'����'�' ��� �!� ������� ��� ���'� 2� �%��� �� !�
������� � ��%% �% ������' � ��� � �!� ���� ������
<� 2!����%�� �!� ��-��' ���$��� ������%�� ��%���� � �
%���'� ��� ���*� ���$��� %��������� ���!�� ! �!� ��-��'
���$��� ������%�� ���� %!��* %�� !��$ '��� �!�����
%���� � �� %���% �� ���%� ��$ ���%��� '�������� � �!�
%�������� �' ���'� 2!� %���%%�% '�(�����' ��� ��
��� ! �� '��� � �!� %���������
=� ����(� �!� ���%����� %������� ��$��� �' �!�
���!������$ ���� �!� ��� ���' �� ���(� ��� ���$���
%��������% �'!��� �� �!� ���� ������
8� ����$ � ��$�� � ��) �� �!� ���$��� %�������� %�'� ��
%��(� �% � !�'�� ���� �� �!� ����� ����! � ������
%��������%�
7� �����%� �!� ��) !�'�� ���� �� ��!�� ���! �!�
�����!�' ���$��� �����%��������% ��� �!� ���� �����
�%� ����� �% � ��������� %��(��� 2!� �����%� ���� �%
+� � 8� ��� ������� � � ������� ��� ���' �%� � ���(� ������$���
+� � 7� +��������� �����%%�% � ����%��'� ������%�� %�������� ���� �!����%���
6<G 12 -�� �� ��2 3 ������ ��� �������� � (4 +&&+! 5*'6545
��$ %�(���� %���'% �' �!� ����� '��% �� ������ �!�
���$��� ������%���
G� ���� �� ��� ���$ �!� ��) '��� �!� %��%�-��� !���
�������� �!��! ��%�%�% � ���%%���*� �' �$���$%�%�
2!� ��%��� �% � ����! � ����%��'� � ����* ��� ����
���� %��������%�
#��! �!�% ���!�'� �!� *�$ �� %����%%�� '����'� �% �!�
����� � �!� %���%% %���� ����%�' � �!� �!����%�� %��������
'��� �!� ����� �����%%� 0 �!� �!��*�%% � �!� �������
��� �% ���! �!��� �!� �!� ������ ������ %�H� � �!�
���� %��������� �!� ��� �% ������(��$ K�)���� �' �� ��
��%��$ �����'� ����%� �!� %���%% �% !� !�$ ������H�' �� �!� ���
� �!� ������� ����* ������ �!� �!����%�� �����%��������
�' �!� ������� ���� ���� �-��������� '������% �!�� �!�
�(��� � %���%% ������' �� �!� ���$��� %�������� �% ���! �����
�!� �!� �������� ������� %���%%� 2!�% %������� �% � �����%� ��
�!� %���%% %���� '�(�����' '��� '����� ���� �� ��%! '����'�
� �!��� �!� ������ ���� �' ��'� ���� ������ �!�
���' ���� �' �!� ���$��� %�������� ���� ����'� '����'� �
�� �!� �(��� � %���%% �%�'� �!� %�������� �� �)���' �!�
�������� ������� %���%% �' ��%��� � ����*� � �!� ������
%���������
� ������� �� ���������
I%� �!� ������� � �����%% '�%�����' � �!� ���(��
��% %�����% �� !�(� %����%%���$ ��������' � ��'� (�����$
� ���� ������� ���� %��������% �!�� !�(� ��%%�'
�!��� ! �!� �!����%��� '����'� � ���%%���*� � �' �$��
��$%�% %���% ��� � '��� �� ���� � �!�%� ��� %!�� �
+� � G� 2!�$ ����'� � ���� � � ���'�� �' �����%��������%
���! (�����% �!���% ����'� ����� ���� �' !�)� ���
�!���%�
�������' �� ��%� ���' ���!�'% 9?: �!��! ��$ ��-����
'�$% �� %����$ ��� � �!� ���'%� �� � E��� ���'%� �!�
���!����� ����� '����'� ���!�' �% �,���� � ����%
� ���! ���� �' ��%�� �% ������' ���(���%�$� ���!��
��$ �� '����' �% �� '�%%��(� �� ���! ���$ �!� ���'� 2!�%
�% ����������� ���! �!� ���� ���$��� ������%�� �� �!�
�!����%�� %�� �� �!�� !� �����%� �!� ������� ������%��
��%�� ��$ �� �����*�' �$ �!� '����'� ���!��� 1���(���
�� �% ��%%���� �!�� �!� ����� ��� ���' ��$ ��%� �� ���!�' �%
� %����,���� ��$�� � ��'�� �� �����%� �!� �����������
%���������
2!� ������$ ��%��� !��� �% �!� '���%������ � �!�
(�������$ � �!� ������� � ���' �����%% �� $���'
+� � G� ������% ������� %��������% ��'� �$ �!� �������%�� �����%% �%� ������� �' ���'% .�!� �!��*�%% � �!� %��������% �% ����' =4 ��/�
12 -�� �� ��2 3 ������ ��� �������� � (4 +&&+! 5*'6545 6<?
'��� ����� ������� %��������% (�� �������%�� � � ���$�
����� ������%��� J ����%�� �!�% �% � ������ %��� � �!�
'�(������� � �������� ���!��� ��% �� �!� ��%% ���'���
��� � ������� ����� ��$ �����(����% � �''���� ��
��� ���������$ ����% ��� �)�����' � ��'�� �� ����� ������
'�,���� �' !� !�� ��!��(���� �%���� ����� �� �!� �������
�����%��������%� 2!�%� ����'�A
6� "���� �� �������� ������������ �������� � � � ��
���� 2!��� ��� ���������$ ��� �'(��� �%A .�/ %�����
���%��� '�������� ���� �(� !� ! �%���� ����� �' ����
�����%� '������ �� �!� ��&���5 .�/ � � ��� ����� ����$
�% �%�' .�� � �'������%�'/ �!� �� �% ��%%���� �!�� �!�
����� ��� ���' �� �� ����(�' �$ ����� �� ���$
���(� ��!�' � %�� %��'� ���%%���*�' ������2
%���������
3� "���� � ����#�� ��� �� �� ������� � �� � � �")%
� �������� � ��(���% ��%%������$ �% � %����� �� � �����
������$�� �!�� �� �� ��������' �$ �%�����%!�' ����
���* �'C�� %����� ��������!�� ���!�-��%�
;� "���� ���� �� ���� � ���������� 1� !��������$
'��% �' � ��� ��� ���� ���� ��������� �!� '�(�����
��� � '�%������ ������ %!��� �����%��������%�
<� ��������� �� �������� ������������� 2!� '�������$ �
�!� ����� ��� �����%�% ���! ������������ ��� �� �!�
%��� ���� �!� %���%% � ����� ������$�� '�����%�%�
2!������� �!� ����������� %!���' �� ��������' ��
������H� �!�%� ������� ����%�
=� ��������� ��� � ��7������� 2!�% ���� ���������$
�����(� �!� �����%%� ��� �!�% �% � �!���� � ������� ��
���� �� �! %�����
� �����������
#� �����%�' � ���!�' � ������� � ���%�' ���'
��������� �' '����'� �% � �������! �� ��������
����*� � �!� ��������� � ���$����'���(�' �������
���� '��� �!����� !��� ��������%� #� '�%�����' �!�
������� � �����%% �' �!� %��%�-��� '����'� ����
��%% ���%%��$ �� $���' ����%��'� ����������� %��������%
����� �� �!� ,�� ���%%���*� �' �$���$%�%� �% � ��%���� �!�
%!��*� � �!�� �����% '��� �!�%� �����%%�% �% ����
%�����'� %��%������ %���%%�%� �!�%� '� �� '�(����� �'
����* ��� ������� ���� %��������% ��� ������'� 1����
�� �������' ��� ������ ����% �!�� '���%����� �!� (�������$
� �!� �����%%� �' �� ��%� �����' ��� �����%% �����(��
���% �!�� ��� �)�����' �� ���' �� �����(�' '�,���� �
������� �����
�������� �������
2!�% ���* �% %�������' �$ �!� ���%� �'(���'
��%����! E��&���% � ��$ .���E�/ �' I� ��� +����
�'�� ������� L+;4843�??�3�4=<;�
����������
96: �� ���'��� F� E�%%� � 1� ��!���'��� ��"� ���*� �$�!�%�% � '�%�
%��������%�' �������% �� ��� �����������%� ������ ;== .8;83/ .6??3/
76<@767�
93: �� ��!�� �$� �� 1����� ���� E!����%� � �����'�%�������$ ��%����!
�����%�� �� �'(���' ����������!����� �����%$%���%� ���������
2��!���� ������ �� ���E�� 6??G�
9;: �� �� #� M!� � ���� �� !�� ���� ��� �� ��&� ��(������� �
�&������� ���$����'���(�' �������% �� !� !������������ ����
.����N3444/� 3444� ��� 86?@83;�
9<: �� ���'��� �� ���� E��$����'���(�' %��������%�' ���* �������%� E��� 0�
E���������� �����%%� �' ���������%� "� ���� ������ ���� 6= .6??=/
74;@76=�
9=: �� ���'��� �� O��H��� #� ���%%���� �� ����%�!� "� ���� +� ��'� ��� �
%��������� ���������'� ������� %����� �� 3444��� ������ ;G3 .8=?</.6??8/ 7?8@7?G�
98: 1� ��!���'��� +� ��'� ��� �� ���'��� ������ ���������'�% P � �(��
���%% � ��������%� "� E!$%� ; .6??;/ 63?;@63?G�
97: �� � �!�� M� #� � �� ��� ���'$ � �%��!����� �����%�� �� �
���!��� $ �� � �$��'����� ������������$ !��%� � "� ������
E����%%� 2��!��� 73 .;/ .6??7/ <4;@<48�
9G: 1� ��*��� I� 1���� 1�� ����%%� �% � ���!�' �� �!� ��������� �
���$��� !� ! �%���� ����� %��������%� ��%� ��������% �A E!$%� G; .6@;/
.3444/ 6;4@6;=�
9?: 1� +������!� �� 1�%%��� 1� O����� �� ���!��� #� �!���'� 2� ���!%� ��
���*� +������� � ������) ������� ��������H�' %��������% �$
�$���$%�% � ���$.(�$�%���H��/� "� ��� ������ ���� 7? .8/ .6??8/
6<=7@6<8=�
������!���
1����� -�� �����(�' !�� � �' �� '� ���% � ��������% � ����� ���
�!� �!� !�� "��� 2� I�(��%��$ � �!�� � 6??4 �' 6??;�
��%�����(��$� �!� �% �� � '������� ��%����! �%%�%��� � �!� ���������
� ���!����� � ����� �� �!� I�(��%��$ � ������'�� ����� ��
�'(���' ��������� �' E��*� � � �������(�� J������ �'
�� ���� ���������% .���E�J��/� 1�� ��%����! �����%�% ��� � �!�
'�%� � ��������� �' ��%�� � ���� �� !� !������������ �(����
���%�
-�)���� -��� �����(�' !�� � �' �� '� ���% � ���!����� � �����
��� �!� I�(��%��$ � ������'� �� ���'�� � 6??G �' 3444� ��%�����(��$�
�������$� %!� �% � '������� ��%����! �%%�%��� � �!� ��������� �
���!����� � ����� �� �!� I�(��%��$ � ������'�� ����� ��
�'(���' ��������� �' E��*� � � �������(�� J������ �'
�� ���� ���������% .���E�J��/� 1�� ��%����! �����%�% ��� � �!�
'�%� �' ���*� � � ���� %�%��%� ���� �� �����'����
����������%� �' �!� '�%� �' ��������� � ���� �� !� !�
����������� �(������%�
8������ -� �����(�' !�% � �' �� '� ���% � ��������% � ����� ���
�!� �!� !�� "��� 2� I�(��%��$ � �!�� � 6??; �' 6??8�
��%�����(��$� 1� �����(�' ���!�� �� '� ��� � ���!����� � �����
��� �!� I�(��%��$ � ������'� �� ���'�� � 3444� 1�% ��%����! �����%�%
��� � �!� '�%� � ��������� �' ��%�� � ���� �� !� !������������
�(������%�
-���� �� �% � �%%�%��� ����%%�� � �'(���' ��������% E����%%� �'
���$%�% ����� .��E��/ �' ��������� � ���!������ ��������% �'
����%���� � ����� .����/ �� �!� I�(��%��$ � ������ +����'��
J���'�� E���� �� &��� I�+� ��� � ��% � ��%��'����� ��%����! �%%������
�� I�(��%��$ � ������'� �� ���'��� 1�% ��%����! �����%�% ��� � �!�
����� ���� � �����%%� @%��������@�������$ �������%!��% � �������
��������%� ��%� ������$� !�% ��%����! �% ���%�' � ���$����'���(�'
6=4 12 -�� �� ��2 3 ������ ��� �������� � (4 +&&+! 5*'6545
�������% �' �!��� ����������% � !� !������������ ����� ��� � �%
������ � �!� �������������� � ���$����'���(�' ������� ����� 1�
!�% ���� �!� 34 �����% � ��������% %����� �' ��������������
���!��� ��%�
������ -2 ���� �% � �%%������ ����%%�� � ���!����� � ����� � 1�
�����(�' �!� E!� � ���!����� � ����� � 6??3 ��� �!� I�(��%��$ �
#�%!� ��� I��� E���%%�� ��N% ��%����! �����%�% ����'�A .�/ �!�
��������!����� ��!�(��� .������� �' '��������/ � ��������% �'
%��������% �� ���������������!����� %$%���% ����������%� .��/ �!�
��������!���% �' �!$%��% � !����� ����% ��'��� ����'� '����%�
���$��$%���%� �' �����%���%� ���! ���!�%�% � ���H��������� %���'%� �'
.���/ �!� ����%��� �!��������H���� � �������� �����%��������� 1�% ��%����!
�% ��%�' � � %��� ������ ������ �!��������� �' �)��������� ����%�
E���%%�� �� !�% �����%!�' �(�� 84 �������% � ������' &�����% � �!�%�
%��&���% �' !�% ��� �!� �������� �� ����������� �(�%�� ���� � ���%
�' �������% � �!�%� ����% ��� ��+� �J�� J��� �0�2� ���E�� �'
��'�� ������� �����������%�
9���� �2 $��� � �% � �%%������ ����%%�� � ���!����� � ����� �'
�!� '������� � �!� ���� �Q� ���������$� I�(��%��$ � ������'� ��
���'��� E���� �� &��� �!� I�(��%��$� !� ��% � �%%������ ����%%�� �'
�!� '������� � �!� ��������������% ��%����! ���������$ � �!�
��������� � ���������� �' �������� � ����� � ��� +���� 0%������
� 2��!��� $� #�� !��E�����%� ��� +���� �%�� J!�� ."�� 6??3 ��
�������� 6??7/� E���%%�� �� !�N% ��%����! ����'�% ����� %�����
��������!�� � �����%�%��%� �������������%� ���� %����%%����$�
���� ���*� � � ��������������%� �' %�����'����� '�(��� �!$%��%�
��� �� !� �����(�' �!� ������ ����'% � �!� ���� � ����A ��%� �����
� �!� ���N?G P 0��������� ������� �' �)!������ � ������!��
��'���% �' 1� ! ��%��$ E��*� � � 6??G5 ��+� �%!�! ��%� �����
����' �� �!� 6??8 0��������� ������� � �������� ���� ����� % �'
2!� +���%� ��� �� !� !�% ���!���' �' ������!���' ���� �!� 74 �����%
� �!� ����% � ����� 1� �% � ������ � 0���� ����� �' �E0�� 1�
%��(�% � �!� �)�����(� ��������� �� ���� ���� ����'�(�%���
: � ;2 ����# �% �������$ ����%%�� � ���!����� � ����� �'
'������� � �!� ����� �� �����%��� �' �(�������� ��%����! �� �!�
I�(��%��$ � ������'� �� ���'��� 1� %��'��' ���!����� � ����� ��
�!� I�(��%��$ � ���!� � . � 6?8G� �� 6?8?/ �' �� �����' I�(��%��$
.E!� 6?7=�/� ���� �����(� �!� E!�� !� ��% � �����$ ������ �� �!�
I�(��%��$ � �������� �� ��*���$ ���� 6?GG� ������ �!� ��* � ���
����%%�� � ���!����� � ����� � ��%� � !�% ���'���� ������ !�% ���
'�(���' �� �!� ���' � �����%��� �' �(�������� %��'��%� ������$� !�
!�% ��� ���*� � �!� ����% � ���� ����������% � �����%���� 1�
!�% �(�� 644 %������� �' ���!���� ����������%�
8�� � 8�<� E���� �� &��� I�(��%��$ � ������'�� ���'�� � 6??8� !� !�'
%��(�' � �!� �����$ � ��������% ������ �' � ����� �� ������
I�(��%��$ �� 36 $���%� 1� �����(�' �!� E!� � ������' �!$%��% ���
1��(��' I�(��%��$ � 6?74� 1�% ��%����! �% � �����%%� � !� !�
����������� �����%� �����%���%� �' �������%� 1�% ��%� %� �����
����������% !�(� ��� � �'��%��'� !�� �������% ������ !� !�
����������� �����%%� �' ���!����� ��!�(���� 1� !�% �(�� 344
����������% � �!��! 6=4 ��� � ������' &�����%� �' ����'� 6< I�
E����%� 1� !�% ��� � F� �!��� ������ � ���)�'�� (� 1�����'�
%���� %�����%� ����'�� �' � ����!��% %�!���� �� ��% �����% �������
���������$�
12 -�� �� ��2 3 ������ ��� �������� � (4 +&&+! 5*'6545 6=6