application of microforging to sicn mems fabrication

9
Application of microforging to SiCN MEMS fabrication Yiping Liu a,* , Li-Anne Liew a , Ruiling Luo a , Linan An b , Martin L. Dunn a , Victor M. Bright a , John W. Daily a , Rishi Raj a a Department of Mechanical Engineering, NSF Center for Advanced Manufacturing and Packaging of Microwave, Optical, and Digital Electronics CAMPMODE), University of Colorado, Boulder, CO 80309-427, USA b Department of Mechanical, Materials and Aerospace Engineering MMAE), Advanced Materials Processing and Analysis Center AMPAC), University of Central Florida, Orlando, FL 32826, USA Abstract Ceramics and polymers are attractive candidate materials for MEMS applications because of the wide range of properties that can be obtained, and the promise of improved performance as compared to the existing materials set for MEMS. A challenge in the fabrication of ceramic MEMS is prohibiting cracking that can occur during processing. For example, this is signi®cant in the development of a microcasting fabrication technique from a polymer precursor for silicon carbonitride SiCN) MEMS. In this case, shrinkage mismatch between the SiCN structure and the microfabricated mold during thermal processes leads to signi®cant stresses that can crack the ceramic structure. Here, we propose an approach to overcome this problem that relies on demolding prior to the large shrinkage mismatch thermal processes, which itself is a nontrivial challenge. To this end, we propose and describe a microforging process that facilitates demolding and show representative results for numerous SiCN ceramic microstructures. # 2002 Elsevier Science B.V. All rights reserved. Keywords: SiCN; MEMS; Microcast; Microforge; Microform; Ceramic 1. Introduction Ceramics are attractive candidate materials for MEMS applications because of the wide range of properties that can be obtained and the promise of improved performance as compared to the existing materials set for MEMS. With the development and use of new materials, new processing techniques arise, and with these, new issues and challenges emerge. Here, we treat such a problem that has emerged in our development of a microcasting fabrication technique for polymer precursor derived silicon carbonitride Si 1.7 C 1.0 N 1.6 ) high-temperature MEMS [1]. Conventional ceramics such SiC and Si 3 N 4 are attractive for high-temperature applications. The fabrication of SiC- or Si 3 N 4 -based ceramic structures usually involves sintering of ceramic powder at a temperature higher than 15008C [1]. The necessary sintering additives can degrade ceramic mechanical properties at such a high-temperature. Moreover, the powder route is not compatible with available micropat- terning techniques. Chemical vapor deposition CVD) of SiC is a new technique which involves surface micromachin- ing and can be used to fabricate SiC high-temperature MEMS [2]. However, the CVD and micromachining of SiC are time-consuming and expensive. Due to the planar nature of CVD, it is dif®cult to fabricate high aspect ratio MEMS structures. A recently developed processing technique of injectable polymer SiCN ceramic has been applied to implement high- temperature MEMS components with higher aspect ratio and lower cost than that of CVD SiC approach [3]. Instead of using a cross-linked polymer powder as the starting material, a liquid polymer precursor is directly cast into micropat- terned molds and then thermoset to form polymer MEMS structures. Finally, bulk SiCN ceramic structures are obtained by cross-linking and thermal decomposition of the polymer at temperatures as low as 10008C. In MEMS applications, microstructure dimensions are relatively small and often at least one dimension is in the range of hundreds of microns. With additional isostatic pressure during cross-linking, the released gaseous by-pro- ducts are likely to diffuse out before they build up high enough pressure to form voids inside the structure. So the direct microcasting method is especially suitable for MEMS fabrication. The resulting single phase and amorphous SiCN ceramic microstructure surfaces are shiny and no micro- cracks and few voids are observed on SEM images of the cross-section [3]. The linear shrinkage can reach up to 30%, which suggests that a large degree of densi®cation occurred Sensors and Actuators A 95 2002) 143±151 * Corresponding author. E-mail address: [email protected] Y. Liu). 0924-4247/02/$ ± see front matter # 2002 Elsevier Science B.V. All rights reserved. PII:S0924-424701)00725-7

Upload: yiping-liu

Post on 04-Jul-2016

212 views

Category:

Documents


0 download

TRANSCRIPT

���������� � ������� � �� ���� ���� ���������

���� ������� ����� ������ ����� ����� ��� ��� ����� �� ���������� �� �� !��� "�! #� ����$�� ��%!� ��&�

����������� ��� ������ ������������ ��� ������ � �������� ������������ ��� ��������� ���������

�������� ��� ������� ���������� ��������!� "��������# ������ $������ �� %&'&()*+,� "������������� ��� ������� ��������� ��� �������� ����������� ����!� �������� ��������� ��������� ��� ����#��� ������ �����!�

"��������# ������� ������� ������� �- '+%+.� "��

��������

�������% �' ���$���% ��� ��������(� ��'�'��� ��������% �� ���� ����������% �����%� � �!� ��'� �� � � ���������% �!�� �� ��

������'� �' �!� �����%� � �����(�' ��������� �% �������' �� �!� �)�%�� ��������% %�� �� ����� � �!���� � � �!� ��������� �

������� ���� �% ���!����� ����*� �!�� �� ����� '��� �����%%� � +�� �)������ �!�% �% %� �,��� � �!� '�(������� � �

�������%�� ��������� ���!�-�� ��� � ���$��� ������%�� �� %����� ���������'� .����/ ����� 0 �!�% ��%�� %!��*� � ��%����!

������ �!� ���� %�������� �' �!� �������������' ���' '��� �!����� �����%%�% ���'% �� %� �,��� %���%%�% �!�� �� ����* �!� �������

%��������� 1���� �� �����%� � �������! �� �(������ �!�% ������� �!�� �����% � '����'� ����� �� �!� ��� � %!��*� � ��%����! �!�����

�����%%�%� �!��! ��%�� �% � ����(��� �!���� �� 2� �!�% �'� �� �����%� �' '�%����� � ������� � �����%% �!�� ���������% '����'� �'

%!�� �����%�����(� ��%���% �� ������% ���� ������� �����%��������%� � 3443 ��%�(��� ������ ��� ��� �� !�% ��%��(�'�

/�#����0 ����5 ����5 �������%�5 ������� �5 ��������5 �������

� ���� ������

�������% ��� ��������(� ��'�'��� ��������% �� ����

����������% �����%� � �!� ��'� �� � � ���������% �!��

�� �� ������' �' �!� �����%� � �����(�' ���������

�% �������' �� �!� �)�%�� ��������% %�� �������#��! �!�

'�(������� �' �%� � �� ��������%� �� �����%%�

���!�-��% ���%�� �' ���! �!�%�� �� �%%��% �' �!���� �%

���� ��1���� �� ����� %��! � ������� �!�� !�% ���� �' � ���

'�(������� � � �������%�� ��������� ���!�-�� ��

���$��� ������%�� '���(�' %����� ���������'� .��6�7�6�4�6�8/

!� !������������ ���� 96:�

��(������ �������% %��! ��� �' ��;�< ��� ��������(�

�� !� !������������ ����������%� 2!� ��������� � ���� ��

��;�<���%�' ������� %��������% �%����$ �(��(�% %����� �

������� ���'�� �� � ����������� !� !�� �!� 6=44�� 96:�

2!� ���%%��$ %����� �''���(�% �� '� ��'� �������

���!����� ���������% �� %��! � !� !������������� �����(���

�!� ���'�� ����� �% �� ���������� ���! �(������� ���������

���� ���!�-��%� �!������ (���� '���%���� .���/ �

��� �% � �� ���!�-�� �!��! �(��(�% %����� ��������!��

� �' �� �� �%�' �� �������� ��� !� !������������

���� 93:� 1���(��� �!� ��� �' ��������!�� �

��� ��� �������%��� �' �)��%�(�� ��� �� �!� �����

����� � ���� �� �% '�,���� �� �������� !� ! �%���� �����

���� %��������%�

� ������$ '�(�����' �����%%� ���!�-�� � �&�������

���$��� ���� ������� !�% ��� ������' �� �������� !� !�

����������� ���� �������% ���! !� !�� �%���� �����

�' ����� ��%� �!� �!�� � ��� ��� �������! 9;:� 0%���' �

�%� � ���%%���*�' ���$��� ���'�� �% �!� %����� ���������

� ��-��' ���$��� ������%�� �% '������$ ��%� ��� ���������

����' ���'% �' �!� �!����%�� �� ��� ���$��� ����

%��������%� +����$� ���* ���� ������� %��������% ���

������' �$ ���%%���*� �' �!����� '������%���� �

�!� ���$��� �� �����������% �% ��� �% 6444���0 ���� ����������%� �����%�������� '���%��% ���

������(��$ %���� �' ��� �� ���%� �� '���%�� �% � �!�

�� � � !�'��'% � �����%� #��! �''������ �%�%�����

���%%��� '��� ���%%���*� � �!� �����%�' �%���% �$�����

'���% ��� ��*��$ �� '��%� ��� ����� �!�$ ����' �� !� !

��� ! ���%%��� �� ��� (��'% �%�'� �!� %��������� �� �!�

'����� �������%�� ���!�' �% �%�������$ %������� �� ����

���������� 2!� ��%���� %� �� �!�%� �' �����!��% ����

������� �����%�������� %�����% ��� %!�$ �' � ������

����*% �' �� (��'% ��� ��%��(�' � ��� ��� �% � �!�

���%%�%����� 9;:� 2!� ����� %!��*� � �� ����! �� �� ;4>�

�!��! %� �%�% �!�� � ��� � '� ��� � '�%�,����� �������'

��%��% �' ��������% � ?= .3443/ 6<;@6=6

� �����%��'� ���!���

�)���� �������A $���B������'���'� .�� ���/�

4?3<�<3<7C43CD @ %�� ��� ������ � 3443 ��%�(��� ������ ��� ��� �� !�% ��%��(�'�

E00A � 4 ? 3 < � < 3 < 7 . 4 6 / 4 4 7 3 = � 7

'��� �!� �!����� ��������� 2!� ���* '�%��$ � ����

���� %�����% �% ����� 3�;= C��; �!��! �% � ��'

� ������ ���! �!� %���' �!�%� '�%��$ '�'���' ��� 1 �

���%%��� ����%�����$ .3�;; C��;/ �' ��� ����� �$���

����$ � ���� ���'�� .3�;4 C��;/ 9<:� 2!������� �� �� ��

�����'�' �!�� �!� ��%���� �������%� ���� %�������� �%

���$ '�%�,�' ���! (�������$ � ������%��$� $ �������

�%�� ���� �������% ��������' �!��� ! �!� ���'�� �����

����� ���� ����%� �(� ����$� !� ! ���%%��� .8<4 �E�/

�!� �!� ��� ��'$ �% ����'� �!� ��� ����%��$ �% %����

��� �� �!� 8> 9<:� 2!� �������%� ����� �� %� �,����$

�����(� �!� �����%�������� �% ���� �������� ���������% �

���� ����� �������%� 2!� !� !������������ ���������%

� �������%� ���� ��� ���������� �� �!�%� � ��� �'

%������� �� �!�%� � %����� 9;:� ��! ���*��% !��'�%%

.6= FE�/ �' ���%��� ��'���% .6=G FE�/ !�(� ��� ����

%���' �%� � ������'������ %$%���� 2!� �����!��%

���� ������!% '������%� �� ����� 6<44�� � (�����

�' ��� �!������$ %����� � ���� � �� �� 6744�� 9=:�

+���!������� �� !�% �)�'���� ��%�%���� �� �� 6844�� �

��� '�� �� �!� ������� � � !� !�$ ���� %����� �)�'����

��$�� 98:� ����� ��*� ���� ��%� �)!����% ��' ����� ��%�%����

�� !� !������������ 9;:�

2!� ��������� � �!� ��������(� !� !������������ �����

�����% � ���� �����%����%� �' �!� ��-�� ���������

�����������% � �!� �������%�� �������! ��*� ����

���� ��������(� ��������(�% �� � ��'� �� � � ��������

���%� �� � �����%���� �����%��� �!�����% �' ������

� ��%� �!��� ��������% �' %��������% ��� ��-����' �� ��%�%�

'�(����,����� �' '������%����� �)!���� ��' �)�'����

��%�%����� �' ������ ��'���!����� ���������% �� !� !�

�����������%� +���!������� �!��� ���!����� ���������% ��

�� �������' �� %��� '� ��� (�� �!� ��������� ��(�� '�%� �

�!� ���$��� ������%��� �!�%� ����'�� �!� %������� �

�(������� ���������% �' ���� '�%� ��%�����% 9=:�

2!� ���� �������%�� �����%% �(��(�% �!��� *�$ %���%

9;:A .6/ � ��� ��� ���$��� ������%�� �% ��%� ��� �

�������������' ���' �' �!������$ %�� �� ����� 3=4�� ��

��� � ��%���� ���%����� ���$��� %���' %��������5 .3/ �!�

%���' %�������� �% �!� ���%%���*�' �� ����� <44�� �'��

�%�%����� ���%%���5 .;/ �!� ����������� �����%�������� �% �!�

�$���$H�' �� ����� 6444�� �� ��� � '�%�� ������!�� ����������� %��������� ��� �� �!� ����� � �������%�� � !� !

�%���� ����� ;����� %�������� �� �� ��������'� ���� �!�

����������� ���$��� �% ��%���� ���� �!����%�� �' �!�

%!��*� � '��� '������%���� �% ������ �!� %!��� �'

'�,���� � �!� �����%�������� ���� �� ������' ���� �$��

��$%�%� �)���� �!� '���%��% ��� %������ �!� �!�� �

��� ��� ���'� #� �$������$ �%� %��'��' ���!� ���!�� ����

��%%�% �� �������� %�� ���$����� ���'%� �� � ��� �!����

��%�%�� � %� �,��� ��������� �!���� � � �!�% �����%% �% �!�

���(���� � ������� ����*� '��� �!� ���%%���*�

�'C�� �$���$%�% �����%%�% �!��� �!� ������(��$ ���* ����

���� �'�� ��% ��� � %!��*� �� 0 �!� %!��*� � �% �(���$

��%�����' �$ �!� ���'� �!� ������� ��$ ����*� �

�������! �� �(������ �!�% �������� ����*� �% �� '����'

�!� %�������� ���� �!� �!����%�� �����%%� ��� �!�% �% ��

���(����

#� !�(� �%�' �!��� ��(������ '����'� ���!�'%A

'����� ���!����� '����'� � ��%� ���'� �' '�%%��(�'

���'� ��� �� � �!�%� !�% ��� ���������$ %���%�����$�

�% � ��%���� �� �����%� � �� ���!�' �� ��!��(� '����'�

�!��! �%�% � ������� �' �!� ��� %�������� �% �!� ���' �'

���!����� ����� �� ��������� '����'� � ���� �!�%

�����%%� �� ��%� �%� � ���� %� �� ��$%��� %��%����� �!��!

���������% �!� %�������� � �� ��� �����%��������% ��� �!�

%��%����� �$ '�%%������ � �!� %��%������ 2!� ��%��� �% � ����

%��'� �!����%�� ������� �!�� �% �� %��&��� �� ���

%����� ��� �!� ���' �!� �� %!��*% '��� �!� %��%�-���

���%%���*� �' �$���$%�% %���%� �' �!�%� �� �'�� ��% �

'��� � '��� �!�%� �����%%�%�

� ����������� �� ���������� ��� �

#� �������� ���� ������� ���� �$ �������%�� �

��-��' ���$��� ������%��� �$������$ �!� �����������$��(����

���� ������22� .��� ��)�'� �����$� I��/� ��� �I�

G .��� ����� �!�� �����/ �!�����%�%� ��������'% ��'�

�$ %��'��' �!������!� ���!�� ���!�'%� 2!� ��'% ������

�!� �!����%�� ������%��� �!� ���'� �' �!� %��%����� ���

�$������$ -���� %��� � �% � ��%���� '��� '����� ���!�����

'����'� � �!� ���* �!����%�� %�������� ��$ ��� ����� �!�

�������% ������ �!� �!����%�� %�������� �' �!� ���' �'C

�� %��%������ 2!� ���* �!����%�� ������%�� ��$ %���* �� �!�

����% � �!� ���' �' �!� %����� � %��%������ �!�%� '����

� �!� �����%��������� ���� ���%%���*� �' �$���$%�%�

������2 ���� �'�� � � %!��*� � �% !� ! �% ����� ;4>�

�!��� �!� ��*�' �I�G �!�����%�%� ���� �)������� ��%%

%!��*� � �' �!� %��%����� �� �� ���� #!� %��&����' ��

%��! � ��� � %!��*� � ��%����!� �!� �!����%�� %�������� �%

!� !�$ %���%%�' '�� �� �!� ��%������� � �!� ���' ����% �'

%��%������ �' �!�%� %���%%�% �� ���' �� �����%��������

'��� � �$ ����*� � �!� ������� %���'� 2� �(��' %��! ����*�

� '��� �� �� �����%� � ���!�' ��%�' � �!� �%� �

������� �' ���'% �' ���!����� ����� �� '����' �!�

�����%�������� ���� �!����%���� � ��'��� �� ��� ���

%���%%��'��� ��%����� '��� ���%%���*� �' �$���$%�%�

1� !������%�� �� � �% � ��������� ���!�' �!�� !�%

������ �����%� �$ ������� � ��'�� ���%��� ���*�

�!��� ��$ %����� ��% !�(� ��� �����$�' �' �����%%

��'��% '�(�����' �' (���'���' 97:� 1���(��� �!�%� ���!�

�-��% !�(� �� $�� �� %�� ���������� � ������� ����

���������� 0 �!�% %��'$� �� �����$ � ������(��$ %����� %��

������� � ���!�-�� �� '���%����� �!� �������� � �!�

�������!5 ����� ���* ���� ��%�'�� ���� %��!�%������'

���!�-��% �' �����%% ������H�����

������� �' ���'% �� �� '�(�'�' ��� ��� ���� ����% �$

�!� ��$ �!� ������$�� �% '�%� �'� 0 � ��%���(� ������$�� �%

�%�'� �!��! ��%�����% �!� ���� %��������� � ��%���(� �� �

%���� �% ��'�� #!��� �� � ���(� ������$��%� � �����%��'�

� � ���(� ������$�� �� � �����'��� �% ������'�

6<< 12 -�� �� ��2 3 ������ ��� �������� � (4 +&&+! 5*'6545

2!� %�����,�' %�� ������� � ���!�-�� %!���% %����������%

���! !�� ����%%� �������������� ���!�'% 9G:� 2!�

��������� �����%%�% � ������� �' ���'% �%� ���!

��%���(� �' � ���(� ������$��% ��� '�%�����' ������

+252 ������� ������� �����7�#

+��%�� �% %!�� � +� � 6� �� �������� � ��%���(� �I�G

�!�����%�%� ������$�� � � %����� %��%������ �!��! !�%

�!� %!��� '�%���' �� �!� ���� �����%��������� ��� �% ��� ��

�!� �!� ���� �����%�������� �� �����%��� �� �!� %!��*�

� � ���%�' �$ ���%%���*� �' �$���$%�%� 2!� � ��$�� �

�!� ������� ��� .34@<4 �� � �!�% ���*/ �% ������' ��

�!� ��� � �!� ������$��� �' �%%����$ �% �����' ��� �

���%%��� �$��'��� �!��! �%�% ���%����� �% �!� ��'���

�!��� ! �!��! ���%%��� �% ������'� � ������%%�(� ���� �%

��'����$ ������'� '��� �!��! �!� �!� ������� ��� �%

�� �' ��� � � ���(� ���' �' �!� ���%����� ��$�� %��(�% �%

� ���' !��'��� 2!� '�,���� � �!� ����������' '���'%

� �!� ��� �!��*�%%� �!� ������' ���%%���� �' �!� �� �'��$ �

�!� ��*�' �!�����%�%� ������$��� ���!�� ! �� !�(� ��

%��'��' �!�%� �����������%!��% � '���!� +� %� 3 �' ; %!��

�)�����% �!�� ����%����� �!�%� �������%!��% �(�� � �� � �

��� �!��*�%% �' ������' ���%%��� �!�� �� !�(� ��' �� ��

����������$ ��%�����

2!� �� �' � ���(� ���'% !�(� �!� �(��%� %!��� � �!�

��%���(� ������$��� 0� �% ������� �!�� �!� '�������� � �!�

������$�� �% %����� #��! � '�����%� � �!� ��� �!��*�%% �'C

+� � 6� ��� ������� � � ������� ��� ���' �%� ��%���(� ������$���

+� � 3� ���� � ��� �!��*�%% �' �� � ���%%��� � �!� '������ � �!� ������� ��� ���' .%���� �% � ��/�

12 -�� �� ��2 3 ������ ��� �������� � (4 +&&+! 5*'6545 6<=

�� � �����%� � �!� �� � ���%%���� �!� '�,���� � �!�

������� ���' �% �����(�'� J ����%�� �!��� ��� �����% ��

�!� '�,���� �!�� �� �� ������' �' ���%�����$ �!�

�����%% ���������% �� �� �������' �� ��!��(� ������H�'

'�,����� I'�� �����%�' ���%%���� �!� �I�G ������$��

'����% ���!��� ��������$ �� %!��� �����% �' ����� ����

�' �% �!��! ��� %���%% ���%��%� 0����%� �!� �I�G ������$��

!��'�%% �� ��%� �����H� �!� '��������� 2!�% �� ��

��������%!�' �$ �������� �!� �I�G ��%����*� ��������

���� �' ����� �������$� ���! '����� ���������% �

����������� �' ����� �!� �I�G �� �� ��*�' ��� � �����

%������� ��� ���%����� �� $������ ���� �' ����*� 2!�

!��'�%% � �I�G �% ��'����$ �����%�' �����'� �$� 1���

�(��� �!� ���� ������$�� ��'% �� ����* �!��� �!� ����* ��

�% �������� �� �!� $����� �I�G ������$�� �% � ��' �!����

�������' �� �!� ��!�� ��*�' %����%� +� � < %!��% �!� ���

��� �% � ������� �' ���'% ��%�' � ���%����� �' �(���

��*�' $����� ������$��%� ��%�����(��$� 2!� ����� ���� �' �

'�,���� � �!� ���'% �% �����$ �����(�' �$ �%� �(���

��*�' ������$��%�

+� � = �������% �!� ������$��� �!� ������� ��� ���'

�' � ����%��'� �!����%�� %��������� 2!� %!��� �' �% �'

�����% � �!� ������� %�������� ��� ���'�'� �'����� �

��'����� � '�,����� 1���(��� �!�% ���'� ��$ ��

�'(��� ���% � %�������% �!��� �!� %!��� �����% �'

�' �% ��$ ���' �� %�(��� %���%% ���%��% � �!� ,�� %��������

� ��% ���'�' �%� �(������� ��%�� � �!� ������$�� �' �

�% �)������$ %!��� �' !��'� �� �% ��*��$ �� ���� �!� �������

��� '��� �� � � �� �������� �!� ������$�� !��'�%% �%

���%%��$ �� ������� � �

+2+2 �������� ������� �����7�#

2!� %���� � � ���(� ������� � �%%����$� �% %!�� �

+� � 8� �% ��$ %�� !��$ '����� ��� �!� ��%���(� ��� ����

�� ��� �� �%� �!� ���%�'� � �!� ������� ���'� �� ��� �

��$�� � �!� ���%��� ,�� ������ �!� ���%����� �' �������

���� 2!�% �!� ���%��� ,�� �� ��$ ���������% �!� %�������� �

�!� ���%����� �' ������� ���' ���� �� � � ��� ��%�

�������% �!� ���' %����� ��� ���%����� �����������

+� � ;� ���� � ��� �!��*�%% �' �� � ���%%��� � �!� %!��� �' �% �' �����% � �!� ������� ��� ���'%�

6<8 12 -�� �� ��2 3 ������ ��� �������� � (4 +&&+! 5*'6545

0 �!�% ��, ������� �!� %����� %��%����� �' �(�� ��*�'

�I�G � ���(� ������$�� �(�% �!� �!� ��� ���' � %��� ��

%������ �!� �!�� � �!� ���%����� ���� '�%�����' � ��%���(�

�� � ��%�� 1���(��� �!� '�%�'(��� � � �!�% ��%� �% ��%�

�������� ����%� �!� ������� ��� !�% � �!��*�%% ����'

34@<4 ��� �!� ��� ���' '���%��% ��� � �� �� �!� %����% �!� ������$�� '���%��� ��� ���! �!� %!��*� � �

���$��� ������%��� �� ���� ���!�� ���������� �!� '�%� �

���� %��������%� �% � ��%���� �!� ��%���(� ������� �

���!�' �% �������'�

���� �!� ������� ��� �% �� �' �� ���� ������������

�!� �%���� ����� � �!� ��%���� %��������% �% ����� ���$� J��

������$ ���� !��� �% �� '���%����� �!� �������� ��%%����

���$ � �%� ������� �' �!� ��� ���'% �� ��������� �!�

'����'� � �!����%�� ����������� %��������� 0 �!� ������

�!� ������� � ���!�-��% �� �� �����(�' � ��$ ��$%

+� � <� ���� � �!� �I�G ������$�� !��'�%% � �!� '������ � ������� ��� ���'%� �!��! ��� �� ��%��� ��%� %������%�

+� � =� ������� �������%� � ��� ��� ������$��� �� �' ���'� �' ����%��'� �!����%�� %���������

12 -�� �� ��2 3 ������ ��� �������� � (4 +&&+! 5*'6545 6<7

����'� ���%� �!� �� � ������������ �%� � ���������

����!�' '��%� �'C�� %�������%��� ����$ ���� �������� �!�

�� � ����� �' �!���� �!� '���

� ������������ ���������

�%�' � � ��%���(� ������$��� �!� �������� �������%��

�����%%� ����'� '�����% � �!� �����%�' �� '����'�

���!�'� ��� %!�� � +� � 7� ���K$� �!� �����%% ��%�%�% �

�!� ������ %���%A

6� +�������� � ��%���(� �I�G �!�����%�%� ������$�� � �

%����� %��%������ ���� ��%���)��%���� ��*� �' '�(��

������� �!� �I�G �!�����%�%� ������$�� �% ���!������$

%�� ��� ! �� ��%�%� ��'����� �� � ���%%���% ���!���

����������� '��������� 2!� ������$�� �� �� �%�'

�������'�$�

3� I%� �!� %�������' %�� �� � ���!�' �% '�%�����' � �!�

��%� %����� �� ��*� � � ���(� ������� ��� ���'� #�

�%� ���%����� �'�����! �!� ���' �� !��' �' %������

�!� ��� ���' '��� %��%�-��� %���%�

;� �������%� �!� ��-��' ���$��� ������%�� � �!� �������

��� ���' �' ����$ � %� �� ��$%��� ���� ����� �% � ���

��(��� ���� �!� ��-��' ������%�� �% %�%���(� �� ��� �'

!���'��$� �!�% %��� �% '�� � � �� � ����%�!���� #�

�%� � ���� ����� �%���' � � %����� ���� �� ���������

��%��� �����%� � �!� ������%�� %�������� ���� �� �%

'����'�' ��� �!� ������� ��� ���'� 2� �%��� �� !�

������� � ��%% �% ������' � ��� � �!� ���� ������

<� 2!����%�� �!� ��-��' ���$��� ������%�� ��%���� � �

%���'� ��� ���*� ���$��� %��������� ���!�� ! �!� ��-��'

���$��� ������%�� ���� %!��* %�� !��$ '��� �!�����

%���� � �� %���% �� ���%� ��$ ���%��� '�������� � �!�

%�������� �' ���'� 2!� %���%%�% '�(�����' ��� ��

��� ! �� '��� � �!� %���������

=� ����(� �!� ���%����� %������� ��$��� �' �!�

���!������$ ���� �!� ��� ���' �� ���(� ��� ���$���

%��������% �'!��� �� �!� ���� ������

8� ����$ � ��$�� � ��) �� �!� ���$��� %�������� %�'� ��

%��(� �% � !�'�� ���� �� �!� ����� ����! � ������

%��������%�

7� �����%� �!� ��) !�'�� ���� �� ��!�� ���! �!�

�����!�' ���$��� �����%��������% ��� �!� ���� �����

�%� ����� �% � ��������� %��(��� 2!� �����%� ���� �%

+� � 8� ��� ������� � � ������� ��� ���' �%� � ���(� ������$���

+� � 7� +��������� �����%%�% � ����%��'� ������%�� %�������� ���� �!����%���

6<G 12 -�� �� ��2 3 ������ ��� �������� � (4 +&&+! 5*'6545

��$ %�(���� %���'% �' �!� ����� '��% �� ������ �!�

���$��� ������%���

G� ���� �� ��� ���$ �!� ��) '��� �!� %��%�-��� !���

�������� �!��! ��%�%�% � ���%%���*� �' �$���$%�%�

2!� ��%��� �% � ����! � ����%��'� � ����* ��� ����

���� %��������%�

#��! �!�% ���!�'� �!� *�$ �� %����%%�� '����'� �% �!�

����� � �!� %���%% %���� ����%�' � �!� �!����%�� %��������

'��� �!� ����� �����%%� 0 �!� �!��*�%% � �!� �������

��� �% ���! �!��� �!� �!� ������ ������ %�H� � �!�

���� %��������� �!� ��� �% ������(��$ K�)���� �' �� ��

��%��$ �����'� ����%� �!� %���%% �% !� !�$ ������H�' �� �!� ���

� �!� ������� ����* ������ �!� �!����%�� �����%��������

�' �!� ������� ���� ���� �-��������� '������% �!�� �!�

�(��� � %���%% ������' �� �!� ���$��� %�������� �% ���! �����

�!� �!� �������� ������� %���%%� 2!�% %������� �% � �����%� ��

�!� %���%% %���� '�(�����' '��� '����� ���� �� ��%! '����'�

� �!��� �!� ������ ���� �' ��'� ���� ������ �!�

���' ���� �' �!� ���$��� %�������� ���� ����'� '����'� �

�� �!� �(��� � %���%% �%�'� �!� %�������� �� �)���' �!�

�������� ������� %���%% �' ��%��� � ����*� � �!� ������

%���������

� ������� �� ���������

I%� �!� ������� � �����%% '�%�����' � �!� ���(��

��% %�����% �� !�(� %����%%���$ ��������' � ��'� (�����$

� ���� ������� ���� %��������% �!�� !�(� ��%%�'

�!��� ! �!� �!����%��� '����'� � ���%%���*� � �' �$��

��$%�% %���% ��� � '��� �� ���� � �!�%� ��� %!�� �

+� � G� 2!�$ ����'� � ���� � � ���'�� �' �����%��������%

���! (�����% �!���% ����'� ����� ���� �' !�)� ���

�!���%�

�������' �� ��%� ���' ���!�'% 9?: �!��! ��$ ��-����

'�$% �� %����$ ��� � �!� ���'%� �� � E��� ���'%� �!�

���!����� ����� '����'� ���!�' �% �,���� � ����%

� ���! ���� �' ��%�� �% ������' ���(���%�$� ���!��

��$ �� '����' �% �� '�%%��(� �� ���! ���$ �!� ���'� 2!�%

�% ����������� ���! �!� ���� ���$��� ������%�� �� �!�

�!����%�� %�� �� �!�� !� �����%� �!� ������� ������%��

��%�� ��$ �� �����*�' �$ �!� '����'� ���!��� 1���(���

�� �% ��%%���� �!�� �!� ����� ��� ���' ��$ ��%� �� ���!�' �%

� %����,���� ��$�� � ��'�� �� �����%� �!� �����������

%���������

2!� ������$ ��%��� !��� �% �!� '���%������ � �!�

(�������$ � �!� ������� � ���' �����%% �� $���'

+� � G� ������% ������� %��������% ��'� �$ �!� �������%�� �����%% �%� ������� �' ���'% .�!� �!��*�%% � �!� %��������% �% ����' =4 ��/�

12 -�� �� ��2 3 ������ ��� �������� � (4 +&&+! 5*'6545 6<?

'��� ����� ������� %��������% (�� �������%�� � � ���$�

����� ������%��� J ����%�� �!�% �% � ������ %��� � �!�

'�(������� � �������� ���!��� ��% �� �!� ��%% ���'���

��� � ������� ����� ��$ �����(����% � �''���� ��

��� ���������$ ����% ��� �)�����' � ��'�� �� ����� ������

'�,���� �' !� !�� ��!��(���� �%���� ����� �� �!� �������

�����%��������%� 2!�%� ����'�A

6� "���� �� �������� ������������ �������� � � � ��

���� 2!��� ��� ���������$ ��� �'(��� �%A .�/ %�����

���%��� '�������� ���� �(� !� ! �%���� ����� �' ����

�����%� '������ �� �!� ��&���5 .�/ � � ��� ����� ����$

�% �%�' .�� � �'������%�'/ �!� �� �% ��%%���� �!�� �!�

����� ��� ���' �� �� ����(�' �$ ����� �� ���$

���(� ��!�' � %�� %��'� ���%%���*�' ������2

%���������

3� "���� � ����#�� ��� �� �� ������� � �� � � �")%

� �������� � ��(���% ��%%������$ �% � %����� �� � �����

������$�� �!�� �� �� ��������' �$ �%�����%!�' ����

���* �'C�� %����� ��������!�� ���!�-��%�

;� "���� ���� �� ���� � ���������� 1� !��������$

'��% �' � ��� ��� ���� ���� ��������� �!� '�(�����

��� � '�%������ ������ %!��� �����%��������%�

<� ��������� �� �������� ������������� 2!� '�������$ �

�!� ����� ��� �����%�% ���! ������������ ��� �� �!�

%��� ���� �!� %���%% � ����� ������$�� '�����%�%�

2!������� �!� ����������� %!���' �� ��������' ��

������H� �!�%� ������� ����%�

=� ��������� ��� � ��7������� 2!�% ���� ���������$

�����(� �!� �����%%� ��� �!�% �% � �!���� � ������� ��

���� �� �! %�����

� �����������

#� �����%�' � ���!�' � ������� � ���%�' ���'

��������� �' '����'� �% � �������! �� ��������

����*� � �!� ��������� � ���$����'���(�' �������

���� '��� �!����� !��� ��������%� #� '�%�����' �!�

������� � �����%% �' �!� %��%�-��� '����'� ����

��%% ���%%��$ �� $���' ����%��'� ����������� %��������%

����� �� �!� ,�� ���%%���*� �' �$���$%�%� �% � ��%���� �!�

%!��*� � �!�� �����% '��� �!�%� �����%%�% �% ����

%�����'� %��%������ %���%%�%� �!�%� '� �� '�(����� �'

����* ��� ������� ���� %��������% ��� ������'� 1����

�� �������' ��� ������ ����% �!�� '���%����� �!� (�������$

� �!� �����%%� �' �� ��%� �����' ��� �����%% �����(��

���% �!�� ��� �)�����' �� ���' �� �����(�' '�,���� �

������� �����

�������� �������

2!�% ���* �% %�������' �$ �!� ���%� �'(���'

��%����! E��&���% � ��$ .���E�/ �' I� ��� +����

�'�� ������� L+;4843�??�3�4=<;�

����������

96: �� ���'��� F� E�%%� � 1� ��!���'��� ��"� ���*� �$�!�%�% � '�%�

%��������%�' �������% �� ��� �����������%� ������ ;== .8;83/ .6??3/

76<@767�

93: �� ��!�� �$� �� 1����� ���� E!����%� � �����'�%�������$ ��%����!

�����%�� �� �'(���' ����������!����� �����%$%���%� ���������

2��!���� ������ �� ���E�� 6??G�

9;: �� �� #� M!� � ���� �� !�� ���� ��� �� ��&� ��(������� �

�&������� ���$����'���(�' �������% �� !� !������������ ����

.����N3444/� 3444� ��� 86?@83;�

9<: �� ���'��� �� ���� E��$����'���(�' %��������%�' ���* �������%� E��� 0�

E���������� �����%%� �' ���������%� "� ���� ������ ���� 6= .6??=/

74;@76=�

9=: �� ���'��� �� O��H��� #� ���%%���� �� ����%�!� "� ���� +� ��'� ��� �

%��������� ���������'� ������� %����� �� 3444��� ������ ;G3 .8=?</.6??8/ 7?8@7?G�

98: 1� ��!���'��� +� ��'� ��� �� ���'��� ������ ���������'�% P � �(��

���%% � ��������%� "� E!$%� ; .6??;/ 63?;@63?G�

97: �� � �!�� M� #� � �� ��� ���'$ � �%��!����� �����%�� �� �

���!��� $ �� � �$��'����� ������������$ !��%� � "� ������

E����%%� 2��!��� 73 .;/ .6??7/ <4;@<48�

9G: 1� ��*��� I� 1���� 1�� ����%%� �% � ���!�' �� �!� ��������� �

���$��� !� ! �%���� ����� %��������%� ��%� ��������% �A E!$%� G; .6@;/

.3444/ 6;4@6;=�

9?: 1� +������!� �� 1�%%��� 1� O����� �� ���!��� #� �!���'� 2� ���!%� ��

���*� +������� � ������) ������� ��������H�' %��������% �$

�$���$%�% � ���$.(�$�%���H��/� "� ��� ������ ���� 7? .8/ .6??8/

6<=7@6<8=�

������!���

1����� -�� �����(�' !�� � �' �� '� ���% � ��������% � ����� ���

�!� �!� !�� "��� 2� I�(��%��$ � �!�� � 6??4 �' 6??;�

��%�����(��$� �!� �% �� � '������� ��%����! �%%�%��� � �!� ���������

� ���!����� � ����� �� �!� I�(��%��$ � ������'�� ����� ��

�'(���' ��������� �' E��*� � � �������(�� J������ �'

�� ���� ���������% .���E�J��/� 1�� ��%����! �����%�% ��� � �!�

'�%� � ��������� �' ��%�� � ���� �� !� !������������ �(����

���%�

-�)���� -��� �����(�' !�� � �' �� '� ���% � ���!����� � �����

��� �!� I�(��%��$ � ������'� �� ���'�� � 6??G �' 3444� ��%�����(��$�

�������$� %!� �% � '������� ��%����! �%%�%��� � �!� ��������� �

���!����� � ����� �� �!� I�(��%��$ � ������'�� ����� ��

�'(���' ��������� �' E��*� � � �������(�� J������ �'

�� ���� ���������% .���E�J��/� 1�� ��%����! �����%�% ��� � �!�

'�%� �' ���*� � � ���� %�%��%� ���� �� �����'����

����������%� �' �!� '�%� �' ��������� � ���� �� !� !�

����������� �(������%�

8������ -� �����(�' !�% � �' �� '� ���% � ��������% � ����� ���

�!� �!� !�� "��� 2� I�(��%��$ � �!�� � 6??; �' 6??8�

��%�����(��$� 1� �����(�' ���!�� �� '� ��� � ���!����� � �����

��� �!� I�(��%��$ � ������'� �� ���'�� � 3444� 1�% ��%����! �����%�%

��� � �!� '�%� � ��������� �' ��%�� � ���� �� !� !������������

�(������%�

-���� �� �% � �%%�%��� ����%%�� � �'(���' ��������% E����%%� �'

���$%�% ����� .��E��/ �' ��������� � ���!������ ��������% �'

����%���� � ����� .����/ �� �!� I�(��%��$ � ������ +����'��

J���'�� E���� �� &��� I�+� ��� � ��% � ��%��'����� ��%����! �%%������

�� I�(��%��$ � ������'� �� ���'��� 1�% ��%����! �����%�% ��� � �!�

����� ���� � �����%%� @%��������@�������$ �������%!��% � �������

��������%� ��%� ������$� !�% ��%����! �% ���%�' � ���$����'���(�'

6=4 12 -�� �� ��2 3 ������ ��� �������� � (4 +&&+! 5*'6545

�������% �' �!��� ����������% � !� !������������ ����� ��� � �%

������ � �!� �������������� � ���$����'���(�' ������� ����� 1�

!�% ���� �!� 34 �����% � ��������% %����� �' ��������������

���!��� ��%�

������ -2 ���� �% � �%%������ ����%%�� � ���!����� � ����� � 1�

�����(�' �!� E!� � ���!����� � ����� � 6??3 ��� �!� I�(��%��$ �

#�%!� ��� I��� E���%%�� ��N% ��%����! �����%�% ����'�A .�/ �!�

��������!����� ��!�(��� .������� �' '��������/ � ��������% �'

%��������% �� ���������������!����� %$%���% ����������%� .��/ �!�

��������!���% �' �!$%��% � !����� ����% ��'��� ����'� '����%�

���$��$%���%� �' �����%���%� ���! ���!�%�% � ���H��������� %���'%� �'

.���/ �!� ����%��� �!��������H���� � �������� �����%��������� 1�% ��%����!

�% ��%�' � � %��� ������ ������ �!��������� �' �)��������� ����%�

E���%%�� �� !�% �����%!�' �(�� 84 �������% � ������' &�����% � �!�%�

%��&���% �' !�% ��� �!� �������� �� ����������� �(�%�� ���� � ���%

�' �������% � �!�%� ����% ��� ��+� �J�� J��� �0�2� ���E�� �'

��'�� ������� �����������%�

9���� �2 $��� � �% � �%%������ ����%%�� � ���!����� � ����� �'

�!� '������� � �!� ���� �Q� ���������$� I�(��%��$ � ������'� ��

���'��� E���� �� &��� �!� I�(��%��$� !� ��% � �%%������ ����%%�� �'

�!� '������� � �!� ��������������% ��%����! ���������$ � �!�

��������� � ���������� �' �������� � ����� � ��� +���� 0%������

� 2��!��� $� #�� !��E�����%� ��� +���� �%�� J!�� ."�� 6??3 ��

�������� 6??7/� E���%%�� �� !�N% ��%����! ����'�% ����� %�����

��������!�� � �����%�%��%� �������������%� ���� %����%%����$�

���� ���*� � � ��������������%� �' %�����'����� '�(��� �!$%��%�

��� �� !� �����(�' �!� ������ ����'% � �!� ���� � ����A ��%� �����

� �!� ���N?G P 0��������� ������� �' �)!������ � ������!��

��'���% �' 1� ! ��%��$ E��*� � � 6??G5 ��+� �%!�! ��%� �����

����' �� �!� 6??8 0��������� ������� � �������� ���� ����� % �'

2!� +���%� ��� �� !� !�% ���!���' �' ������!���' ���� �!� 74 �����%

� �!� ����% � ����� 1� �% � ������ � 0���� ����� �' �E0�� 1�

%��(�% � �!� �)�����(� ��������� �� ���� ���� ����'�(�%���

: � ;2 ����# �% �������$ ����%%�� � ���!����� � ����� �'

'������� � �!� ����� �� �����%��� �' �(�������� ��%����! �� �!�

I�(��%��$ � ������'� �� ���'��� 1� %��'��' ���!����� � ����� ��

�!� I�(��%��$ � ���!� � . � 6?8G� �� 6?8?/ �' �� �����' I�(��%��$

.E!� 6?7=�/� ���� �����(� �!� E!�� !� ��% � �����$ ������ �� �!�

I�(��%��$ � �������� �� ��*���$ ���� 6?GG� ������ �!� ��* � ���

����%%�� � ���!����� � ����� � ��%� � !�% ���'���� ������ !�% ���

'�(���' �� �!� ���' � �����%��� �' �(�������� %��'��%� ������$� !�

!�% ��� ���*� � �!� ����% � ���� ����������% � �����%���� 1�

!�% �(�� 644 %������� �' ���!���� ����������%�

8�� � 8�<� E���� �� &��� I�(��%��$ � ������'�� ���'�� � 6??8� !� !�'

%��(�' � �!� �����$ � ��������% ������ �' � ����� �� ������

I�(��%��$ �� 36 $���%� 1� �����(�' �!� E!� � ������' �!$%��% ���

1��(��' I�(��%��$ � 6?74� 1�% ��%����! �% � �����%%� � !� !�

����������� �����%� �����%���%� �' �������%� 1�% ��%� %� �����

����������% !�(� ��� � �'��%��'� !�� �������% ������ !� !�

����������� �����%%� �' ���!����� ��!�(���� 1� !�% �(�� 344

����������% � �!��! 6=4 ��� � ������' &�����%� �' ����'� 6< I�

E����%� 1� !�% ��� � F� �!��� ������ � ���)�'�� (� 1�����'�

%���� %�����%� ����'�� �' � ����!��% %�!���� �� ��% �����% �������

���������$�

12 -�� �� ��2 3 ������ ��� �������� � (4 +&&+! 5*'6545 6=6