strumentazione e caratterizzazione dei materiali e dei dispositivi

Strumentazione e caratterizzazione dei materiali e dei dispositivi

Mauro Mosca

(www.dieet.unipa.it/tfl/people)

Università di Palermo – Facoltà di Ingegneria (DEIM)

A.A. 2015-16

Università di Palermo – Facoltà di Ingegneria (DEIM)

• L-I-V measurements set-up

• Misura resistenza di contatto

• Diffrattometro a raggi X

L-I-V measurements set-up

semiconductorparameteranalyzer

Resistenza di contatto

Resistività di contatto

Typical values:

Resistenza di contatto. Geometria laterale

Transmission Line Method (TLM)

Transmission Line Method (TLM)

Transmission Line Method (TLM)

Transmission Line Method (TLM)

Diffrazione a raggi X (XRD)

interazione tra fascio di elettroni e target metallico

(bremsstrahlung)

Diffrazione a raggi X (XRD)

Diffrazione a raggi X (XRD)

Diffrazione a raggi X (XRD):Legge di Bragg

Legge di Bragg

Diffrazione a raggi X (XRD): metodi

- Metodo di Laue ( costante, variabile)- Metodo delle polveri ( costante, variabile)

anche per filmpolicristallini

Diffrazione a raggi X (XRD):diffrattometro

(solidale con la fenditura)

Diffrazione a raggi X (XRD):diffrattometro alla Bragg-Brentano

Diffrazione a raggi X (XRD): -2 scan

Diffrazione a raggi X (XRD):texture e mosaicità (-scan)

Si fissa l’angolo 2 e si effettua una scansione in

Si può così conoscere la ripartizione dei piani angolaricosì osservati

orientazione preferenziale(o texture)

frazione volumetrica del cristalloche presenta orientazione non-random

rocking curve larga in caso di fortedisorientazione dei piani cristallini (bassa texture)

FWHMgrani ad orientazione parallela alsubstrato risultano disorientati l’uno rispetto all’altro

La mosaicità NON è rivelabile con la rocking curve!

Diffrazione a raggi X (XRD): -scan

-2-scan

-scan(rocking curve)

Diffrazione a raggi X (XRD):goniometro a 4 cerchi (-scan)

Diffrazione a raggi X (XRD): -scanFigura dei poli

Diffrazione a raggi X (XRD):legge di Scherrer: Deformazioni reticolari

legge di Scherrer

allargamento dovuto alla dimensione dei grani

cristalliti