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39

Literatur

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Abbildungen

KI I P K2

L

f- ._- - f

40

K

/ I I I

- ---;

5

Abb.1. Strahlengang einer Fraunhoferschen Beugungsapparatur.

y

- f -----~

Objeklebene Linse 8eugungsebene

~k~ . . \q = reduzlerle

~==..,.7T--:k::-----s Beugungskoordinale o

~. Veranschaulichung der Bedeutung von Ortskoordinaten

x,y bzw. r im beugenden Objekt und der generalisierten Orts-~

frequenzkoordinaten qx,qy bzw. q in der Brennebene der

Beugungslinse.

41

cf,(q)

q -

Z,(q) .

•

0··· • • • •

Abb.3. Zusammensetzung der Objekttransparenz eines periodischen .. Objektes aus der Gestaltsfunktion cr(r) , der Gitterfunktion

z(r) und der Amplitudenfunktion E(z) (r) der Elementarzelle

(linke Spalte), zugehorige Fouriertransformationen in der

rechten Spalte.

42

Abb.4. - Abb.7. Beispiele von a) zweidimensionalen Modell­gittern mit b) ihren Beugungsdiagrammen •

................................... . .... ........ ... . . .................. . ................................... . ................................... . ........................................................................ ......................................................................... : ....... " ............................................................. . ... " ................................ . .......... ....... . ... ........ ..... . . .................................... . ..................................... . ......................................................................... ................................... . . .................. .... ....... .. ......... . ........................................... . . ......... ........ .. .. .................. . ............................................ . . ............................................. .. .................................................. .. . ....................................... .. -:.:.:.:.:.:.:.:.:.:.:.:.:.:.:.:.:.:.:.:.:.:.:.:.:.:.:.:.:.:.:.:.:.:.:.: . ............................................

• t ..... t ..................................... . . .................................................... . .. ................................................. ..

:::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::: , ............................................... .. ......................................................... . , .......................................................... . ..................................................... .. ' .................................................... .. .......................................................... . ::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::::: . .................................................... . ......... ......... ................. ...... ........ . . .............................. ..... ........ .... .. ........................................ ........ .. , ...................................................... .. .................................. ......... . , ............................................... .. ....................................... ......... . ........... .. ....... ........ ... ......... .

4a)

4b)

43

• • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • •

• • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • •

• • • •

• • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • •

• • • • • • • • • • • • • • •

• • • • • • • • •

• • • • • • • • • • •

• • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • •

• • • • •

• • • • • • • • • • • • • • • • • • Sa)

Sb)

• • • • • • • • • • • • • • • • •

• • • • • • • • • •

• • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • •

• • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • •• • • • • • • • • ••• • • • • • • • • • • • • • • • • •

44

45

... .. , ..... , ......... ..... , ... , ., ...... , .... . ..... ... .. 0" ....... 0 •• , ••••••• , •••••••••••••• , •• , •••••••••••••• •

• •• • •• ••• •• • ••• ••• • • • ••• • •• ••• ••• ••• ••• ••• • •• • •• ••• '0 ' ... .. , ... ...... ... ...... .................. .... .... , -., " ••• • •• , • •• , ..... '" •••••••••••••••••••••••••••••• '0' •• _ • •• ,_, •••••• '0' '" •• , •• • II ••••••• ••• •••••••••••••• , .. , ... '" ............ ... ...... ....................... ,

••• •••• • • • • ••••••••••••• • ••• 00 ••••••• , ••••••••••••• '0'

• ••••••••••• •••• ••••••• , .0. 0" ••••••••••••• , ••••••• 0. ,

••••• 0 ., ••••••••• • _ ••••••• • ••••••••• •••• • ••• , ••• ". '" .................. ............... .................. '" ... ... .................. ...... ............ ............ ... ... ... ... .. . ... . , ............................ .... .. • •• , •••••• , • ••• •••• , ••••.•• •••••. •• •.• , •. , •• , .. , ••• ,. j ... , ................................................ .. .• , , ....•..•......... ..•.....••.................... I. , ., .... . , .......... .. ............................. .. . .. , .. , ......... , .. , ..... , ..... , .................. , .... .. ... ... ' " ......... ...... .... " .................. ,., ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . , ....... ' " ... '" ... '" ...... ...... '" ... '" ... '" ...... ...... ...... . .. " ......................... .... , .................... .. ... ... ... ... ... ... ... ... .. . ... ... ... ... .. . ... ... .... .. ... ... ... ... ... .. , ............ ...... ............. , ... , ... . , .. , .... '" ............... .. , ... ... ... ....... .. .. .. ... ... '" .. , ... ... '" ... '" ............... ... '" ..... , ......... .. , '" ...... , .. '" ., ....... , ........ ....... .. ... .. , ........... . .. . .. .. .. , .. ................ , . .... .. .. . . ,. ' " ... ... .. .... ... .. ........... ... .. .. ....... . .. ... ... ... .. . '" .................. ............... . , .. ..

7a)

7b)

46

i 10-8--

ct I 1(JlOr

ro-/

023 4 5 6 789 Rellex-Nr _

10' .------------------------,

;~

.~ 10-2

~ ~

I

~ 10- ~ &: ~ /0-5

to-100 2 3 " 5 6 7 8 9 Ref/ex - Nr. -

a)

b )

~. a) berechnete relative Reflexintensitat eines Strich­

gitters mit sinusformiger Amplitudenmodulation (0 = 0,02)

und steigender Phasenmodulation 8 • b) EinfluB der Amplituden­

modulation bei konstanter Phasenmodulation 8 .

47

a.)

--------------------------------0

b)

Abb.9. a) Registrierte Transmission einer sinusformigen

Schwarzungsverteilung auf einer Agfa Gevaert Scientia 23056-

Platte und b) die Phasenschiebung der gleichen Platte, abge­

bildet mittels eines Interferenzmikroskopes.

48

1,0 /

0,8

t

0.2

Reflex - Nr. _

Abb . 10. Registrierung der Reflexintensitat eines strichformi­

gen Gitters mit sinusformiger Amplitudenverteilung mittels

eines breiten Spaltes .

• Me~sung

o Fourier - Trans f.

c< = 36 2' ..L , 50

023 , 5 6 7 8 Reflex-Nr. -

Abb.11. Vergleich von aus den Registrierkurven in Abb.9 a,b

berechneten mit nach Abb . 10 direkt reg i strierten Reflexinten­

sitaten fUr eine Platte an Luft und in einer Immersion, welche

die Phasenschiebung kompensiert (8=0) .

49

~AofrJ.) Ao

kein Konlrasl

A

Ao posi!iver Phasenkonirasl

A • • I

Ao A/r..,) negativer Phasenkontrast

.1= 0 a)

b)

c )

Abb.12. Uberlagerung der gestreuten Amplitude Aof(S) und der

ungestreuten Ao im Bild bei a) Phasenschiebung Null, b) Phasen­

schiebung 6 = n / 2 (positiver Phasenkontrast) und c)

6 = 3 n / 2 (negativer Phasenkontrast.

4 -rr/2

3

2

'" g'1

.~ 0t-~;§:====::::::,.....::::~-:;.,t-­"&-1 '-~-2 'i; ~ -J

s: -4

-5

-;+----'-2-- ~4--6--~8-~'O

-, -2

~:1 i\1\1V 2 4 6 8mrod l0

Slr~uwinkel i)

Abb.13. a) Phasenschiebung 6 eines elektronenmikroskopischen

Objektivs als Funktion des Streuwinkels e fUr verschiedene

Defokussierungen 6f (C s =4,5 rom, f=2,7 rom). b} KontrastUber­

tragungsfunktion B(l/A) fUr Phasenkontrast bei 6f= 320 nm.

c) Intensitatsverteilung - B2 (1/A) im Diffraktograrom.

50

Abb.14. a) Granulation in der defokussierten Aufnahme einer

Kohleschicht (OriginalvergrBBerung: 80000 fach, 6f=2,74 ~m, b) Laser-Diffraktogramm der Aufnahme, c) Registrierung des Diffraktogramms und d) Auftragung von A- 2 gegen die Beu­

gungsordnung 2m'-1 zur Ermittlung der Defokussierung aus der

Steigung der Geraden.

a)

b)

51

14c)

80

70

60

50 14 d )

":' ~O

:;:-~ 30

20

10

3 5 7 9 II 13 12m -1/

20

20

10

S

2

o o • • ...

0.0 A

.. 0 • . .. o 0

• o ..

52

•

• 0 il 0 ..

• 0 ~g C .

o 00

00·

QS

•

LO nm-1 ~------:3 __ _

o o ..

.. I .... • 0 DO ..

o • 0 :~ 01000 DO· 0

CIo.

• a· ·0· ~ . .. ..

•

1;---------~--------~------o QS 1.0 nm-1

a)

b)

Abb.15. Ermittlung der relativen Amplitude des Ortsfrequenz­

spektrums von Kohlefolien aus der Intensitat der Beugungs­

maxima von einer Defokussierungsserie a) ohne B~rUcksichtigung

des Einflusses der Bestrahlungsapertur und b) nach Entfaltung dieses Einflusses (Me8punkte mit gleichem Symbol stammen aus

einer Platte der Defokussierungserie).

53

XL Y

Abb.16. Schematische Darstellung der Richtungsschwankungen

der Magnetisierung bei Vorliegen eines Magnetisierungsripple.

54

Abb.17. a) Abb11dung des Magnet1s1erungsr1pple durch e1ne

defokuss1erte elektronenopt1sche Aufnahme e1ner 400 R d1cken

Permalloy-Sch1cht, b) M1krodens1tometer-Registrierung der

Photoplatte, c) Laser-Diffraktogramm der Aufnahme a) und d)

Registrierung der Beugungsintensit~t mit einem Spalt l~ngs

und quer zu den diffusen Neugungsmax1ma.

Regislrierung mil Mikrodensilomeler

u

a)

b)

5 =0,5

55

17d)

- 1.0 o q = ItA

0.5 pm

1 0.4

0.3

-6 on=]·IO rad

3

56

Defokussierung z _ em

Abb.18. Abh~ngigkeit des Produktes K2K3 der KontrastUbertra­

gungsfunktion in Abh~ngigkeit von der Defokussierung fUr ver­

schiedene Wellenl~ngen A des Magnetisierungsripple bei einer -6 Sestrahlungsapertur a s= 3.10 rad .

lO '~m

2

--.. t>->-Q: ... :.: t>-'-Q:

0 Q2 Q4 0.6 0 .8 1.0 q = I/A

4

2

10

K 2 8

-- 6 '" ~

4

2

1.2 1.4 pm' l 0

Abb.19. Gemessenes normiertes Ortsfrequenzspektrum R' (q) und 2 mit der KontrastUbertragungsfunktion K (q) korrigiertes

Ripplespektrum R(q) einer 400 R Permalloyschicht mit einer Kristallitgr6Be von 120 R.

10;Um

7

r :

2

57

I/.A

Abb.20. Ripplespektrum R(l/A) einer Permalloyschicht bei

Variation des auBeren Feldes hl=Hl/Hk in leichter Richtung.

8 r; -2rad " \0 6 \

I \0

3

tt <D v

- / 0 2 3 reduzierles Feld '1,h. ..

Abb.21. Abhangigkeit der Rippleamplitude (~) 1/2 vom auBeren

Feld hl in leichter (0) und hs in schwerer (x) Magnetisie­

rungsrichtung. Strichpunktiert: in der Amplitude angepaBte

Theorie nach Hoffmann. ausqezogene Kurve: Theorie von Harte.

58

Abb.22. Abbildung und Beugungsbild eines UltradUnnschnittes

von einer parakristallinen Ausscheidung im Zellkern (Hunde­

leber). Beispiele a) £ = _56 0 und b)£ = _300 aus einer mit

einem Objektgoniometer gewonnenen Kippserie von 9 Aufnahmen.

59

22b)

60

tilt axis y y y x x x x x

symbol • D o + _ • • • •

x

Abb.23. Konstruktion des reziproken Gitters aus zwei Kipp­

serien mit je 9 Kippwinkeln urn die y- und x-Achse eines

Schnittes, der annahernd parallel zur hexagonalen Basisebene

der parakristallinen Ausscheidung verlauft.

Abb.24. Schematische Veranschaulichung des Schwenkungsbereiches

-£0<£< +£0 fUr die Sichtbarkeit einer Netzebenenschar mit

dem Abstand dhk bei einer begrenzten Schnittdicke t.

61

Abb.25. Abbildung und Beugungsbild eines DUnnschnittes von

sich bildendem Rattenschneidezahn-Dentin.

Forschungsberichte des Landes Nordrhein-Westfalen

Herausgegeben im Auftrage des Ministerprasidenten Heinz Kuhn vom Minister ftir Wissenschaft und Forschung Johannes Rau

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