adln-perpustakaan universitas airlangga · 2019. 9. 4. · diffraction menunjukkan babwa lapisan...
TRANSCRIPT
![Page 1: ADLN-Perpustakaan Universitas Airlangga · 2019. 9. 4. · Diffraction menunjukkan babwa lapisan tipis titanium karbida mempunyai struktur kristal berbentuk face centered cubic (](https://reader036.vdocuments.mx/reader036/viewer/2022081403/6089e3c231a2d019e40f1d02/html5/thumbnails/1.jpg)
T11 .A F',. )U t .. \
(t\ E1(./':1 l~ ! Ie. A ....... , "
PEMBENTUKAN LAPISAN TIPIS TITANIUM KARBIDA PADA PERMUKAAN BESI DENGAN TEKNIK SPUTTERING
Kt jb'lPf, 3(g 3SKRIPSI
A~l ' p- -
MILl&. PERPUSTAK.AAN \'
1JN1~ERSITAI Allt1.ANOOA
SUkAUAYA .J
LUTHFI APRIANTO
JURUSAN FISIKA
FAKULTAS MATEMATIKA DAN ILMU PENGETAHUAN ALAM
UNIVERSITAS AIRLANGGA
SURABAYA
1999
ADLN-Perpustakaan Universitas Airlangga
Skripsi
![Page 2: ADLN-Perpustakaan Universitas Airlangga · 2019. 9. 4. · Diffraction menunjukkan babwa lapisan tipis titanium karbida mempunyai struktur kristal berbentuk face centered cubic (](https://reader036.vdocuments.mx/reader036/viewer/2022081403/6089e3c231a2d019e40f1d02/html5/thumbnails/2.jpg)
LEMBAR PENGESAHAN SKRIPSI
Judul : Pembentukan Lapisan Tipis Titanium Karbida Pada Permukaan
Scsi Dengan Tcknik Sputtering
Penyusun : Luthfi Aprianto
NIM : 089411213
Pembimbing 1 : Drs. Adri Supardi M.S
Pembimbing II : Drs. Agus Purwadi
Disctujui Oleh :
Pembimbing 1, Pembimbing [I,
Drs~& Drs. Aflus Purwadi NIP. 13 J 569 373 NIP. TIO 001 930
Mcngetahui,
Dekan Fakultas MIP A Universitas Airlangga,
~ Dr~-,JiaIjana, M.Sc. NIP. 130355 371
ADLN-Perpustakaan Universitas Airlangga
Skripsi
![Page 3: ADLN-Perpustakaan Universitas Airlangga · 2019. 9. 4. · Diffraction menunjukkan babwa lapisan tipis titanium karbida mempunyai struktur kristal berbentuk face centered cubic (](https://reader036.vdocuments.mx/reader036/viewer/2022081403/6089e3c231a2d019e40f1d02/html5/thumbnails/3.jpg)
Luthfi Aprianto, 1999. Pemhentukan Lapisan Tipis Titanium Karbida Pada Permukaan Besi Dengan Teknik Sputtering. Skripsi di bawah bimbingan Drs. Adri Supardi, MS. dan Drs. Agus Purwadi. Jurusan Fisika FMIPA Universitas
A BSTRAK
Aplikasi teknolob>1 Iapisan tipis telah menjangkau hampir semua bidang dan semakin menarik untuk diteliti. Aplikasi teknologi lapisan tipis di bidang mekapik bertujuan untuk meningkatkan kualitas sifat mekanik suatu bahan seperti kekerasan ( hardness ), ketahanan terhadap keausan .
Telah dibuat lapisan tipis titanium karbida pada pennukaan besi dengan teknik sputtering dengan gas pen-sputter argon. Pada pembentukan lapisan tipis titanium karbida dilakukan dengan memvariasi waktu dan daya. Lapisan yang dihasilkan berwama kuning keemasan bercampur sedikit merah dan biru, hingga biro kehitam-hitaman tergantung besamya daya dan lamanya waktu pendeposisian.
Dari hasil uji kekerasan menunjukkan peningkatan angka kekerasan hingga 125,21 % yang teljadi pada substrat besi yang dideposisi selama 15 menit dan daya yang diberikan sebesar 140 watt Karak1erisasi dengan meng!:,'1lnakan XRay Diffraction menunjukkan babwa lapisan tipis titanium karbida mempunyai struktur kristal berbentuk face centered cubic ( fcc ) dengan arab bidang kristal <111>, <002>, <022> .....
Kata kunei : Lapisan tipis, Sputtering, Uji kekerasan
III
ADLN-Perpustakaan Universitas Airlangga
Skripsi