2005 2005 經濟部節約能源績優廠商觀摩會經濟部節約能源績優廠商觀摩會聯華電子 聯華電子 Fab12AFab12A 廠廠

雙溫度冰水系統雙溫度冰水系統

2005 2005 經濟部節約能源績優廠商觀摩會經濟部節約能源績優廠商觀摩會聯華電子 聯華電子 Fab12AFab12A 廠廠

雙溫度冰水系統雙溫度冰水系統黃建溢 chien_yih_huang@umc.com

空調組 經理廠務暨擴建工程部 /Fab12A 廠務工程

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簡報綱要簡報綱要 雙溫度冰水系統

系統概述 冷凍循環及莫理爾線圖 (Mollier Chart)

雙溫冰水主機性能比較 系統示意圖 節能效益

聯華電子 空調系統節能方案

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系統概述系統概述雙溫水系統

直接採用兩種不同型式冰水主機，分別製造中、低兩種不同溫度之冰水

其中，中溫冰水供應給 Phase 2 Clean room & Testing area Dry Cooling Coil 以及 MAU Pre-cooling Coil

業界常見中溫冰水之供應方式 Heat Exchanger Type Mixing Type Type 上述兩種做法其共同點為皆須低溫冰水、較複雜之管

路、較複雜之控制方式，且低溫冰水主機之效能較差較耗電

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熱力學循環熱力學循環

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莫理爾線圖莫理爾線圖 ((Mollier Chart)Mollier Chart) 又稱壓 - 焓圖 (h-s diagram) ，表示物質之壓力、焓、

熵、溫度、比容等狀態，其他有 T-s 、 P-v等圖 常運用在冷凍循環，計算冷媒流量、冷凍效果、

壓縮功、理論馬力、性能係數、冷凝熱等值

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R123 R123 冷媒莫理爾線圖冷媒莫理爾線圖

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冷凍循環冷凍循環 ((Refrigeration Cycle)Refrigeration Cycle)

Compressor

Evaporstor

Condenser

Throtting process

Mollier ChartRefrigeration Cycle

Qin

Qout

Wcycle WcycleQin

Qout

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能源效率比值 (EER, Energy Efficiency Rate) 定義為冷卻能力 (kcal/h 或 Btu/h) 除以輸入電功率

(W) 單位為 kcal/h-W 或 Btu/h-w(lkcal=3.968 Btu 4Btu)≒

性能係數 (COP, Coefficient of Performance) 其計算方式同 EER 將冷卻能力及電功率單位換成一致，因此 COP 沒

有單位

每冷凍噸所消耗的電功率 kW/RT 值愈低表示效率愈高，愈省電

空調主機效率表示法空調主機效率表示法

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中低溫冰水主機性能比較中低溫冰水主機性能比較 (1)(1)

Source: Trane

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中低溫冰水主機性能比較中低溫冰水主機性能比較 (2)(2)

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MAU & CR DCC MAU & CR DCC 單溫冰水供應示意圖單溫冰水供應示意圖

H

PUMP

E

Dry coilloading

CHR 11.6¢J

CHS 5¢J

SCHR 18¢JSCHS 13¢J

MAU

CHS

CHS

CHR

CHR

Pre - coolingrecooling

Heat ExchangerType 2nd CHW

Heat ExchangerType 2nd CHW

DCC

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MAU & CR DCC MAU & CR DCC 雙溫冰水供應示意圖雙溫冰水供應示意圖

Dry coilloading(6823 Kw max.)MAU

CHS

CHS

CHR

CHR

CHS 5¢JCHS 11.6¢J

CHS 13¢JCHS 18¢J

Pre - coolingcoil

recoolingcoil

DCC

13C Chilled Water13C Chilled Water

5C Chilled Water5C Chilled Water

Dry Cooling Coil in CR

Dry Cooling Coil in CR

Pre-Cooling Coilin MAU

Pre-Cooling Coilin MAU

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雙溫度冰水系統節能效益雙溫度冰水系統節能效益

5℃ 13℃ Cost Saving

主機運轉費用 5,282 4,238 1,044

熱交換泵運轉費用 392 0 392

初設成本 856 500 356

合計 6,530 4,738 1,792

單位：萬元 / 年

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聯華電子 空調系統節能方案聯華電子 空調系統節能方案 選用高效率冰水主機 ( 壓縮機、熱交換器 ) 雙溫冰水系統 熱回收冰水主機 --- 供應溫水 提高冰水出水溫度 二次冰水泵變頻控制 冷卻水塔節能 降低冷卻水溫度 降低冷凝器污垢係數 --- 砂濾系統 冷卻水水質控制，提高濃縮倍數 空調冷凝水回收再利用 辦公室空調節能控制 潔淨室相關節能方案

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