think forward

Рентгеновский дифрактометр

XRD

D8 DISCOVER

Bruker AXS

2

Встречайте D8 DISCOVER - Da Vinci”“Для создания любого инструмента требуется опыт.”

(Леонардо да Винчи)

Следуя философии фирмы Bruker AXS - всегда пытатьсяпревзойти ожидания исследователей - последние десятьлет мы непрерывно расширяли возможности нашихрентгеновских дифрактометров. Используя этот опыт иучитывая отзывы и потребности наших пользователей,наши системы стали наиболее продвинутыми решениямидля рентгеновского анализа. Это утверждение доказываетсякаждый день, поскольку по всему миру более, чем четыретысячи инструментов используются учеными, исследователями,разработчиками, и менеджерами процессов, которыедоверяют аналитическим рабочим характеристикам инадежности наших дифрактометров.

“Плох тот ученик, который не превзошел своего учителя.” (Леонардо да Винчи)

Пришло время для следующего поколения приборов,чтобы принять эстафету. Мы с гордостью представляемпреемника самой популярной системы исследования материаловза последнее десятилетие - наш новый D8 DISCOVER!

Мы убеждены, что пользователи, работающие в областисоздания и исследования материалов, сразу извлекут выгодуот применения новых компонентов D8 DISCOVER “Da Vinci” -неограниченные возможности для более быстрого и легкогополучения более качественных результатов.

“Простота – это высшая степень совершенства.”

(Леонардо да Винчи)

Микроэлектроника, фотоника, микро-электромеханическиесистемы (МЭМС), генерация и накопление энергии, хранениеданных, нанотехнологии, частично упорядоченные среды,тонкие пленки и покрытия … в какой бы области исследованияматериалов вы не работали, наш новый D8 DISCOVERпредлагает проверенные временем технологические инновации,чтобы с непревзойденной легкостью решать ваши проблемыв будущем.

Перемещайтесь в следующее измерение в рентгеновскойдифракции и вcтречайте “Da Vinci” - D8 DISCOVER!

3

Линейный детектор VÅNTEC-1

Источник рентгеновского излучения TURBO X-RAY SOURCE

Двумерный детектор VÅNTEC-500

Линейный детектор LYNXEYE

4

Полка для хранения оптики и компонентов

Механизм DAVINCI.SNAP-LOCK Компоненты SUPER SPEED Кнопки Smart screen

Светодиодный индикатор открытой шторки

Индикаторы включениярентгеновского излучения

Запатентованный механизм поворота трубки TWIST-TUBE

Запатентованное открывание дверок: распахивание

Запатентованная ручкаоткрывания дверки

Кабинет на опорных роликах

Светодиодная подсветка кабинета Запатентованное открывание дверок: сдвигом

5

6

Рентгеновсаярефлектометрия(XRR)

DIFFRAC.SUITE

DIFFRAC.MEASUREMENT

CENTER состоит из:

DIFFRAC.COMMANDERDIFFRAC.CONFIGURATIONDIFFRAC.DAVINCIDIFFRAC.D8 MANAGERDIFFRAC.TOOLSDIFFRAC.WIZARD

DIFFRAC.EVALUATION

PACKAGE cостоит из:

DIFFRAC.EVADIFFRAC.TOPASDIFFRAC.LEPTOSDIFFRAC.MULTEXDIFFRAC.POLYSNAPDIFFRAC.NANOFIT

толщинапараметр решеткинесоразмерностьрешетоксоставдеформация ирелаксациялатеральная структурамозаичностьдефекты

толщина слоясоставшероховатостьплотностьпористость

Эпитаксиальноемногослойное покрытие

Покрытие

D8 DISCOVER – решитлюбую задачурентгеновскогоанализа

Анализ материалов с помощью рентгеновского излученияохватывает почти все научные направления, включаятакие насущные области исследования как наноматериалы,фотоника, микроэлектроника, генерация и накопление энергии,частично упорядоченные среды…Разнообразие реализованных методов исследования позволяетизучать широкий спектр функциональных материалов:- Состояние: твердые тела, жидкости, гели, порошки,

повреждения, дефекты- Размер: от едва видимого до больших, обработанных на

станке деталей- Наноразмерные объекты: от аморфной структуры до

структуры с дальним порядком, и все промежуточные случаи - Ориентация: от случайной, эпитаксиальной и до

монокристаллов- Состав: химический, фазовый - Качество: пористость, повреждения, пустоты, дефекты,

деформацияВ зависимости от свойств образца, соответствующие параметрымогут быть определены с помощью рентгеновского анализа:– Толщина, состав, несоразмерность, релаксация, и

дефекты эпитаксиальных слоев – Толщина, шероховатость и плотность кристаллических или

аморфных слоев – Ориентация и ее количественная характеристика

кристаллических, ориентированных слоев и объемныхобразцов

– Остаточные напряжения в кристаллических слоях илиобъемных образцах

– Качественный и количественный фазовый состав,межплоскостные расстояния и микронапряжениякристаллических порошков и объемных образцов

– Также может быть исследовано влияние различныхпараметров окружающей среды, таких, как температура,давление, влажность, приложенное электрическое илимеханическое напряжение на исследуемые образцы.

Наш D8 DISCOVER - наиболее подходящий рентгеновскийдифрактометр - решение в области исследования материалов,к тому же D8 DISCOVER гарантирует высокое качествоэкспериментальных данных и самое короткое время ихполучения.Это обусловлено усовершенствованным дизайном нашейплатформы, который способствует оптимизации технологическойцепочки от установки прибора до получения результатов.DIFFRAC.SUITE, самый последний и самый полный программныйпакет для рентгеновского анализа, является неотъемлемойчастью D8 DISCOVER. Наш DIFFRAC.SUITE, не имеющий себеравных по точности, надежности и простоте использования, даетВам возможность справиться с любой аналитической задачей.РАСКРОЙТЕ секреты ваших образцов с помощьюDIFFRAC.SUITE!

Высокоразрешающаярентгеновскаядифракция (HRXRD)

7

Картирование обратногопространства (RSM)

Напряжение и текстура Идентификация фаз(Phase ID)

параметр решеткинесоответствие параметроврешеткисоставориентациярелаксациялатеральная структура

параметр решеткилатеральные корреляциишероховатостьориентацияфазовый составпористостьразмер частиц

распределение ориентацийколичественнаяхарактеристика ориентацийдеформацияэпитаксиальное соотношениетвердость

фазовый состав межплоскостное расстояниепреимущественная ориентациясимметрия решеткиразмер кристаллитов

Некомпланарная дифракцияв скользящей геометрии(in-plane GID)

Малоугловое рассеяниерентгеновских лучей вскользящей геометрии(GISAXS)

Мезоструктура на подложке Многослойные наноструктуры Обработанные детали Покрытия

8

“Леонардо да Винчи чтут за его технологическуюизобретательность и его экстраординарные способностиизобретать. Леонардо развивал новое уникальноеотношение к машинам. Он доказывал, что понимая, какработает каждая отдельная часть машины, можномодифицировать и комбинировать эти части по-разному,чтобы улучшать существующие машины. Леонардонамеревался изложить первые систематическиеобъяснения того, как работают машины, и как элементымашин могут быть скомбинированы.”

Любой квалифицированный инженер понимает необходимостьследовать принципам Леонардо, поскольку запрошедшие столетия они не утратили своей универсальнойобоснованности или значимости. Совершенно очевидно,каких принципов придерживались наши инженеры, когдаони разрабатывали новый D8 DISCOVER.

Как никакой другой аналитический метод,рентгеновская дифракция характеризуется широкимразнообразием образцов, приложений и методов оценки.Отсюда и самые строгие требования к современнымрентгеновским дифрактометрам: абсолютно открытыйдизайн и неограниченная, бескомпромиссная модульность;вместе с максимальным простым в использовании,функциональным удобством и безопасным обращением.Если кроме этого, система освобождает пользователяот выполнения многих из его повседневных задач иподдерживает его действия, то это значит, что былонайдено идеальное решение для всех рентгеновскихдифракционных задач:

Наш новый D8 DISCOVER с дизайном DAVINCI!

Подход DAVINCI –передовые идеиживут вечно

9

10

Мы горды представить новое поколение нашего D8 DISCOVER с множеством инноваций.

D8 DISCOVER с дизайном DAVINCI, определяетпередовую концепцию дифрактометров, которая раз инавсегда устраняет проблемы неверной конфигурации инастройки. Становится просто менять все компонентыи геометрии съемки.

D8 DISCOVER с дизайном DAVINCI - это уникальнаямодульная система, которая объединяет все частиоптической схемы без каких-либо ограничений. На всемпути от рентгеновского источника через первичнуюоптику и полный набор держателей образцов кдетекторам, любой пользователь, вообще без каких-либо затруднений, может изменить оптическуюгеометрию с одной на другую или поменятьотдельные компоненты. Поэтому, наш D8 DISCOVERпредлагает беспрецедентную адаптируемость к любомувозможному приложению в рентгеновской дифракции.Наш многоуровневый дизайн особенно революционен ипозволяет Вам, как пользователю, сконцентрироваться наВаших приложениях, а не на конфигурации системы.

Положитесь на “Da Vinci трио”!

DAVINCI.MODE – распознавание компонентов вреальном времени.

DAVINCI.SNAP-LOCK – смена компонентов безиспользования инструментов.

DIFFRAC.DAVINCI – виртуальный гониометр.

Правильная реализация принципа“включай и работай” с полностьюавтоматическим распознаванием иконфигурированием компонентов

Смена конфигураций безподстройки - какой бы не был у васобразец или приложение

Абсолютно открытый дизайн с максимальной гибкостью дляадаптации к приложениям вбудущем

D8 DISCOVER сдизайном DAVINCI

– выбор лучшейконфигурацииодним щелчком

11

DAVINCI.MODE

В DAVINCI.MODE Ваш D8 DISCOVER контролирует иуправляет собой во всех деталях. Система всегда знаетсвое собственное состояние. Каждый узел, каждая сменакомпонента, и каждое изменение состояния распознаютсяавтоматически. Каждый компонент регистрирует себя сосвоими индивидуальными характеристиками в системеи затем автоматически конфигурируется. БлагодаряDAVINCI.MODE больше не надо делать подстройку послесмены компонентов.

DAVINCI.SNAP-LOCK

DAVINCI.SNAP-LOCK - наш уникальный, высокоточныймеханизм монтажа типа ЗАЩЕЛКИВАЮЩЕГО ЗАМКА (snap-lock), который позволяет поменять любой оптическийкомпонент в течение всего нескольких секунд, безинструментов и - благодаря DAVINCI.MODE - без какой-либо подстройки. Все оптические компоненты всегда остаютсяидеально настроенными. Никогда прежде не было так легко,быстро и надежно поменять оптическую конфигурациюприбора.

DIFFRAC.DAVINCI

DIFFRAC.DAVINCI - интеллектуальный виртуальныйгониометр, который делает совершенным дизайн DAVINCI иоткрывает новые, ранее неизвестные возможности. DIFFRAC.DAVINCI - графическое представление реальногогониометра, которое отображает все оптическиекомпоненты системы, а также их состояние, и обеспечиваетавтоматическую проверку конфигурации инструмента собнаружением конфликта в реальном времени.DIFFRAC.DAVINCI предлагает два режима работы:

1. Режим “Управление Инструментом” для конфигурацииприбора для выполнения непосредственных измерений,используя программное обеспечение DIFFRAC.COMMANDER.

2. Режим “Планирование Измерения” позволяет описыватьметоды измерения, используя программное обеспечение DIFFRAC.WIZARD, и отображать графическое представлениеконфигурации прибора.

D8 DISCOVER с дизайном DAVINCI: Интеллектуальный – интуитивный – надежный.

“Da Vinci трио” радиодной цели:

бескомпромисснаяпростота примененияDAVINCI.MODE –

распознавание компонентов вреальном времени

Мгновенная регистрациякомпонента со всемииндивидуальнымисвойствами Надежная установкакомпонентов Правильная реализацияпринципа “включай и работай”

DAVINCI.SNAP-LOCK – сменакомпонентов безиспользования инструмента

Быстро и легко Не требует юстировки: оптикасохраняет свою настройку

DIFFRAC.DAVINCI -виртуальный гониометр

Распознавание компонента вреальном времени иотбражение его состоянияПереключение одной кнопкоймежду оптическими путями«высокое разрешение» и«высокая интенсивность»Определение пропущенных,неправильно установленныхили несовместимыхкомпонентов Выбор между всемикомпонентами,сконфигурированными дляиспользования в конкретнойсистемеПараметризация всехфиксированных имоторизованных компонентов:напр. размер щели, толщинапоглотителя, геометрияприбора

1

2

3

12

Выбирайте и устанавливайте все, что Вам нужно!

Выберитеоптимальныйкомпонент с полки

Установите компонент,настройки будутвыполнены автоматически

Меняйте ориентациюLYNXEYE всоответствии с Вашимприложением

Просто установите натрек детектор VÅNTEC-1

Выберите режим быстрогосканирования илиуникальный режиммоментального снимка длябыстрого измерения картобратного пространства

Просто поставьтедетектор VÅNTEC-500на трек

Поставьте ближе кобразцу, чтобы увидетьбольше, или отодвиньтедальше для исследованийв высоком разрешении

Переключитесь с помощьюTWIST-TUBE с линейногофокуса на точечный иначинайте измерение

0°

90°

Шаг к следующему измерению - измените масштаб, чтобы видеть больше и еще быстрее!

Добавьте дополнительную размерность XRD - пролейте свет надетали!

Поставьте ближе кобразцу, чтобы увидетьбольше, или отодвиньтедальше для исследованийв высоком разрешении

2

13

0-D – самое высокое разрешениеВиртуальный гониометр

1-D – быстро и удобноВиртуальный гониометр

Виртуальный гониометр

Смена компонентов без использования инструментовРаспознавание компонентов в реальном времени

Распознавание компонентов в реальном времени

2XRD – вся иформация в одном снимке

Смена компонентов без использования инструментов

14

Организациядифракционногоэксперимента:абсолютнаябезопасность – этонаш высшийприоритетЕще до выпуска нового дифрактометра мы ужепрошли все проверки относительно безопасности истандартов. Каждый инструмент всегда удоволетворяетсамым высоким мировым требованиям порентгеновской и электрической безопасности. Такаяубежденность возникает после строгого и придирчивогоисследования независимыми учреждениями.

Относительно рентгеновской безопасности применяетсяследующее: даже при экстраординарных условияхиспытаний, в любой точке вне кабинета нашего D8 DISCOVER доза ионизирующего излучения,в соответствии с инструкциями EURATOM,значительно меньше 1 мкЗв/ч. Независимо отконфигурации инструмента радиационный уровеньнаходится в диапазоне нано-Зиверт (нЗв).

Две независимых, надежных схемы защиты сраздельным управлением шторкой и сигналом ”Рентгенвключен” (”X-ray ON“ ) гарантируют, что соблюдаютсясамые последние требования по технике радиационнойбезопасности. Кроме того, все предупреждающие иуправляющие элементы эргономично установлены,четко видны и совмещены друг с другом в изящноми современном дизайне.

Проектирование и разработка наших системсоответствуют технологиям и технологическимпроцессам в соответствии со стандартами ISO 9001:2008 и GAMP.

Полная рентгеновская и электрическаябезопасность согласно самым последнимтребованиям

Проверенная система управления качеством

Эргономичные, четко видимые, надежныепредупреждающие элементы системыуправления

Контролируемые условия измерения -эксперименты могут быть повторены годыспустя с точно такой же конфигурациейприбора и параметрами измерения

Быстрая и эффективная по затратам службатехнической и аналитической поддержки,благодаря системе удаленного доступа

Интенсивные и подготовленные по заказупользователя обучающие курсы отспециалистов Bruker AXS

15

Соответствует:

2006/42/EC2006/95/EC2004/108/EC 96/29/EURATOM RöV DIN EN 954-1 Cat. 3DIN EN 61010-1/-2CSA C22.2 No.1010 EN61000-6-1/-2/-3/-4

... и др.

Подтверждено:

TÜVPTBBfSNEMKO

Светодиодное отображение состояния трубки Состояние «Рентген Вкл.» («X-ray ON»)

Кнопки Smart screen для отображения состояния прибора

Программное отображение состояния прибора

Гарантия получениянадежных данных –по скоростному путив микрокосмосИсточники рентгеновского излучения

Для начала Вам нужен свет, чтобы разглядеть свойства Вашихобразцов. Как Вы можете ожидать из дизайна DAVINCI, нашD8 DISCOVER предлагает интегрированные рентгеновскиеисточники: от стандартных рентгеновских трубок до нашегоисточника высокой яркости TURBO X-RAY SOURCE.

Рентгеновская оптика

Разрешение в обратном пространстве зависит отрасходимости падающего луча, которая определяетсяпервичной оптикой, и угловой шириной приемной щели надифрагированном пучке. Нуждаетесь ли Вы в высокомразрешении, чтобы изучать почти совершенные образцы,или меньшем разрешении, чтобы изучать структуры сбольшим количеством дефектов, наш D8 DISCOVER можетбыть легко сконфигурирован для достижения заданногоразрешения, используя соответствующую оптику.

Детекторы рентгеновского излучения

Особая проблема - сохранить качество данных при оченьмалом размере пятна. Для измерения вплоть до микронногоуровня пространственного разрешения D8 DISCOVER можетбыть оснащен нашим уникальным детектором с большойплощадью - VÅNTEC-500.

Чтобы извлечь все преимущества от характеристикдетектора, таких, как высокий динамический диапазон илинизкий уровень шума, необходима надлежащаяпроизводственная схема. Благодаря обширному опыту вразработке собственных детекторов, эти компоненты от Bruker AXS гарантированно будут образцовыми и бездефектных областей.

Гарантия получения надежных данных – только наBruker AXS.

Надежная и не требующая обслуживанияконструкция гониометра, обеспечивающаямеханическую прочность и долгий срокслужбы

Поверка рабочих характеристик прибора спомощью стандартного образца корундаNIST SRM 1976a

Юстировка прибора не хуже ±0.01° во всемугловом диапазоне 2θ

Дополнительные процедуры для входного/выходного контроля качества продукции врегулируемых отраслях промышленности,такой как фармацевтическая индустрия.

Кремниевый многополосный детекторLYNXEYE со всеми полностьюфункциональными каналами

Детекторы VÅNTEC-1 и VÅNTEC-500 сзапатентованной технологией MIKROGAP,не имеющие дефектных областей иобеспечивающие, соответственно,большое1-D и 2-D покрытие

16

Обратное пространство

Для описания дифракционных данныхв кристаллографии вводится понятиеобратной ячейки, имеющей ту жесимметрию, что и прямаяэлементарная ячейка кристалла. Вслучае эпитаксиальных материаловсвязь между различными слоямиболее наглядно видна в обратномпространстве. Наибольшаяинформация может быть извлеченаиз карты обратного пространства(RSM). В зависимости от размерностидетектора одновременнорегистрируются разные областиобратного пространства.

Точечный детектор видит толькомаленькую точку обратногопространства. Поэтому для построениякарты обратного пространстватребуется большее число ω-2Θ-сканирований. Линейный детектор одновременнорегистрирует большее число 2Θ-позиций, представляющих линию вобратном пространстве, что значительноускоряет сбор информации, т.к.требуется развертка лишь по одномунаправлению.

Двумерный детектор регистрируетинтенсивность и в γ-направлении.При этом исследуется слойобратного пространства.Комбинация нескольких слоевфактически позволяет получитьтрехмерную карту обратногопространства за существенноменьшее время.

Omega, 2Thetaдиапазон (ω, 2Θ)

Дебаевскоекольцо

Сигнал оттекстуры

Сигнал отподложки

Картаобратного

пространства

Сигналыот слоев

СфераЭвальда

qz

Сфера ЭвальдаНавигация вобратномпространстве

3-D картаобратногопространства

3-Dдифракционнаякартина

2Θ диапазон

2Θ ω

γ диапазон

qy

qx

Дебаевскоекольцо

Детекторы

Порошки

Тонкие пленки

0-D – самое высокое разрешение

Сцинтилляционный счетчик -0-D детектор

Рентабельное решение

SOL-XE 0-D детектор

точный энергодисперсионныйтвердотельный с прекраснымразрешением по энергиям

Theta/2Theta скан с 0-D детектором,сечение через Дебаевские конусы

2Θ

Схема измерения карты обратногопространства с 0-D детектором

ω, 2Θ

ω

2Θ

Theta/2Theta скан с 1-D детектором,сечение через Дебаевские конусы

Схема измерения карты обратногопространства с 1-D детектором

Традиционное измерениев одной точке

Сцинтилляционный счетчик SOL-XE LYNXEYE

192 точки измерения для LYNXEYE1,500 точек измерения для VÅNTEC-1

1-D – быстрый и удобный

19

XRD – вся информация в одном снимке2

Single PhotonDetection

Theta/2Theta график с 2-D детектором,интеграл по Дебаевским конусам

Theta/2Theta график с 2-D детектором,интеграл по Дебаевским конусам

ω, 2Θ

χ

VÅNTEC-1 1-DдетекторПокрывает 50 x 16 мм²1,500 каналамиЗапатентованнаятехнология MIKROGAPСверхнизкий уровень шумаВозможность поворота на90° для измерений вгеометрии GISAXS

VÅNTEC-500 2-D

детектор Активная областьдиаметром 135 мм с4,000,000 каналов Запатентованнаятехнология MIKROGAPСверхнизкий уровеньшумаОчень высокийдинамический диапазонОптимизирован дляизмерения при самыхбольшихдифракционных углах

4,000,000 каналов наодном XRD2 снимке

VÅNTEC-1 VÅNTEC-500

LYNXEYE 1-DдетекторПокрывает 1,44x16мм2

192 каналами Составная многополоснаякремниевая технологияВозможность поворота на90° для большей скоростисчета или для измеренийв геометрии GISAXS

Всегда больше,чем Вы ожидали -D8 DISCOVERСердце каждого D8 DISCOVER - это нашуниверсальный гониометр, которыйгарантирует быстрое и чрезвычайно точноепозиционирование. Комбинация, например, с нашимиUMC держателями (UMC - universal motionconcept - концепция универсальногоперемещения) или подвесками Эйлера позволяетлегко работать с образцом, независимо от егоразмера и формы.

Доступны различные интегрированные современныеисточники рентгеновского излучения: рентабельнаякерамическая отпаянная трубка, наша уникальнаяTWIST-TUBE система для простого переключения отлинейного фокуса к точечному или наш TURBO X-RAY SOURCE, обеспечивающий непревзойденнуюскорость и мощность.

В зависимости от приложения, соответствующаярентгеновская оптика, такая как зеркалаГебеля, щелевые кристаллы-монохроматоры иполикапиллярная оптика, формирует пучокнаиболее эффективным способом. Для большинствавостребованных приложений уникальные зеркалаГебеля, настроенные на Cu излучение, обеспечиваютпрекрасные характеристики пучка.

Чтобы быть уверенным, что ни один рентгеновскийфотон из дифрагированного пучка не пропал, Выможете положиться на созданные нами детекторы.Выбирайте между высокоэффективными 0-Dдетекторами, быстрыми 1-D LYNXEYE или VÅNTEC-1детекторами, или получайте дополнительнуюразмерность с нашим 2-D VÅNTEC-500 детектором –вся информация в одном снимке.

Потрясающей возможностью нашего D8 DISCOVER является то, что все этивысокотехнологичные компоненты одним щелчкоммогут быть установлены на уникальную SNAP-LOCK оптическую скамью. Это дает возможностькомбинировать легкое и воспроизводимоепереключение компонентов и переменноерасположение всей SNAP-LOCK скамьи вдоль трека.Компоненты автоматически идентифицируются,конфигурируются и настраиваются. Это обеспечиваетнепревзойденную гибкость в работе.

Есть ли еще что-нибудь? Да, что бы ни принеслановая технология в будущем, D8 DISCOVERпредлагает лучшую платформу для интеграции.Это наша проверенная времнем традиция!

“Книга о науке механизмов должна предшествоватькниге об их применении”

(Леонардо да Винчиi)

20

Конфигурация с вертикальным гониометром, UMC держателем и детектором VÅNTEC-500для измерения остаточных напряжений

Конфигурация с горизонтальным гониометром и подвеской Эйлера для измеренияв геометрии скользящего пучка

21

Высокоточный гониометрНадежная и не требующаяобслуживания конструкциявертикального илигоризонтального гониометраTheta/Theta или Theta/2ThetaгеометрияШаговые двигатели соптическими энкодерамиБыстрое и надежноепозиционирование

Яркий источникрентгеновского излученияTURBO X-RAY SOURCE –источник с вращающимсяанодом мощностью от 1.2 до 18кВт в зависимости от размерафокуса и типа анода . Полностью интегрирован вплатформу D8 DISCOVERТипы фокуса: точечный,линейный и микрофокус.Изменяемое расстояние«источник-образец»Уникальная система настройкиисточника с 5 степенямисвободыCr, Co,Cu и Mo аноды

TWIST-TUBEЗапатентованная системаTWIST-TUBEСовместима по размеру состандартными отпаяннымитрубкамиБыстрое и легкое переключениемежду линейным и точечнымфокусомАвтоматическое определениеориентации фокуса благодаря DAVINCI.MODEНе требует перенастройки, ненужно отсоединятьвысоковольтный кабель и шлангисистемы охлаждения

Гибкость в работе собразцамиUMC держатели Подвески Эйлера Наклоняемые подвескиДержатели с вакуумнымиприсосками Вращающиеся держатели длякапилляров и плоскихпорошковых проб Устройства для автометическойсмены пробКамеры для измерения внестандартных условиях

Передовая рентгеновскаяоптикаЗеркала Гебеля MONTEL зеркала Монохроматоры Иохансона POLYCAP линзы TWIN двойная оптика PATHFINDER тройная оптика2- и 4-х кратные прорезныемонохроматоры

ДополнительныекомпонентыНожевой коллиматор (Knife-Edge Collimator (KEC))Laser-Video микроскопРучной пульт управления Экран для устраненияэффекта рассеяния Поворачивающийсяпоглотитель с изменяемымкоэффициентомпоглощения Universal Beam Concept(UBC) коллиматоры

22

HRXRD конфигурация с 4-хкратным монохроматором

Моторизованныещели

ПодвескаЭйлера

Рентгеновскийисточник

ЗеркалоГебеля

4-х кратныймонохроматор

LYNXEYE,повернутый на 90°

Набор 2-х и 4-х кратных германиевых прорезныхмонохроматоров для выбора оптимальногоразрешения

LYNXEYE в 0-D режиме и повернутый на 90° дляпокрытия экстремально широкого динамическогодиапазона

Патентованная PATHFINDER оптика,обеспечивающая переключение нажатием однойкнопки между режимами высокого разрешения идвумя режимами высокой интенсивности

Карта по площади пластины

23

Требования по разрешению и интенсивности могут сильноразличаться в зависимости от образца, который Вам нужнопроанализировать. Например, верхний предел для толщиныпленки, которая может быть оценена методом рентгеновскойрефлектометрии (XRR), определяется угловым разрешениеминструмента, тогда как нижний предел определяетсядоступным динамическим диапазоном и чувствительностью.Соответствующие обязательные требования существуюттакже для высокоразрешающей рентгеновской дифракции(HRXRD). Совершенные эпитаксиальные слои на основеполупроводниковых соединений III-V требуют очень высокогоразрешения, чтобы анализировать тонкие особенностиструктуры. Для исследования менее совершенныхэпитаксиальных слоев, таких, как оксиды или нитриды,более важна интенсивность, а не разрешение.

Наш D8 DISCOVER - идеально удовлетворяет этим двумсовершенно противоположным требованиям. Благодарядизайну DAVINCI Вы можете легко создать конфигурациюдифрактометра, которая больше всего подходит дляВаших нужд. Просто защелкните нужный DAVINCI.SNAP-LOCK компонент, например прорезной монохроматор,и все. Идентификация, конфигурация и настройкабудут выполнены автоматически.

С нашим запатентованным PATHFINDER Вы можетедаже выбрать различную траекторию пучка, вообще некасаясь оптики. Это оптическое устройство выполняетмоторизованное переключение между различнымитраекториями пучка. Нужен только один клик мыши,чтобы переключаться между оптическим путем с высокимразрешением и двумя оптическими путями,обеспечивающими высокую интенсивность.

D8 DISCOVER – защелкни и начинай измерять!

D8 DISCOVER –настройте вашеразрешение однимщелчком

Простое планирование эксперимента спомощью DIFFRAC.WIZARD

Обработка данных HRXRD эксперимента вDIFFRAC.LEPTOS

Анализ рефлектометрических данных с помощью DIFFRAC.LEPTOS

24

D8DISCOVER–телескопдлярентгеновскойдифракцииИзучение обратного пространства – это идеальныйметод проверки качества эпитаксиальных слоев,выращенных на кристаллических подложках. Картаобратного пространства (reciprocal space map - RSM)дает более полную информацию об эпитаксиальномслое или гетероструктуре, чем просто скан в схемевысокого разрешения, который является лишьсечением обратного пространства. Измерение картылегко настраивается с помощью DIFFRAC.WIZARD,вашего помощника в дифракционном пространстве.

Если нужно измерить RSM с очень высокимугловым разрешением, то комбинация PATHFIND-ER и точечного детектора выявит все тонкиедифракционные детали.

Более быстрая и более изысканная возможностьсбора данных – это использование одного из нашиходномерных детекторов: LYNXEYE или VÅNTEC-1.Эти 1-D детекторы одновременно собирают сигналы сбольшого углового диапазона. Поэтому это болеебыстрый и эффективный способ измерения карт.

Эта работа может быть сделана даже ещебыстрее, проще и с большим охватом обратногопространства с помощью нашего превосходногодетектора VÅNTEC-500. Являясь точным счетчикомфотонов с большой активной областью, он покрываетогромную часть обратного пространства однимснимком. Получаемые изображения могут бытьиспользованы различными способами. Просмотр вовремя измерения дает возможность эффективноориентироваться в обратном пространстве, аблагодаря низкому фону, даже очень слабые сигналымогут быть зарегистрированы. Полученные сеченияобратного пространства могут быть обработаныиндивидуально либо использоваться для трехмернойреконструкции обратного пространства.

D8 DISCOVER – единственная система сполностью интегрированными 0-D, 1-D и 2-Dдетекторами.

DIFFRAC.LEPTOS, обработкакарты, измеренной спомощью 1 - D детектора

Обработка карт обратногопространства в программеDIFFRAC.LEPTOS

Представление результатоввысокотемпературногодифракционногоэксперимента в программеDIFFRAC.EVA в видеизолиний равнойинтенсивности

25

Зеркало ГебеляЗеркало Гебеля

2-х кратныймонохроматор

VÅNTEC-1

Картирование обратного пространства ввысоком разрешении с помощью 0-Dдетекторов

Быстрое картирование обратногопространства с помощью 1-D детекторовLYNXEYE и VÅNTEC-1

VÅNTEC-500 2-D детектор для сверхбыстрогокартирования обратного пространства

Рентгеновская дифракционная топографиядля обработки изображений, основанная надифракционном контрасте

Измерения с помощью температурных камеркупольного типа в интервале температур от -100°C до 1400°C

Температурно-зависимая рефлектометрия винтервале температур от -180°C до 800 °C

1-D LYNXEYE и VÅNTEC-1 детекторы дляизмерений как в режиме сканирования, так и врежиме моментального снимка (SNAPSHOTmode)

Подвеска Эйлера свысокотемпературнойкамерой

VÅNTEC-1

Быстрое картирование обратного пространства с использованием 2-хкратного щелевого Ge монохроматора и детектора VÅNTEC-1

Конфигурация для измерения в нестандартных условиях с температурнойкамерой купольного типа DHS1100 и детектором VÅNTEC-1

26

Правильнаяреализацияскользящейгеометрии – D8 DISCOVERСовременная технология получения тонкихпленок имеет дело со все более и более тонкими исложными слоистыми структурами. Анализ такихсложных образцов упирается в пределыклассических дифракционных методов. У D8 DISCOVER есть выигрышная комбинациямощных рентгеновских источников, соответствующейоптики, очень чувствительных 1- и 2-мерныхдетекторов, и специального держателя снезависимым наклоном, чтобы не потерять ниодного отражения. Это означает, что эксперимент понекомпланарной рентгеновской дифракции вскользящей геометрии (in-plane grazing incidencediffraction -- IP-GID) может быть выполнен влаборатории с эффективностью синхротронныхизмерений.

Напрямую измеряйте параметры кристаллическойрешетки в плоскости гетерограницы (перпендикулярноповерхности образца), определяйте размеркристаллитов или измеряйте текстуру в плоскостиобразца. Можно определять изменение величинэтих параметров по глубине структуры.

Кроме того, Вы можете измерять диффузноерассеяние вблизи направления падающего пучкаи извлекать информацию о наноструктуреприповерхностного слоя и межслоевых границ.

Обработка GISAXS данных в программе DIFRAC.LEPTOS

Эксперимент по малоугловому рассеянию вскользящей геометрии (GISAXS) охватывает всенаправления вне плоскости дифракции. Поэтомудля успешного измерениия требуется оченьчувствительный линейный детектор, такой как нашиLYNXEYE или VÅNTEC-1, повернутые на 90°. С нашим 2D детектором VÅNTEC-500 Вы можете дажеизучать наноструктуры одним снимком, не перемещаядетектор.

D8 DISCOVER – взгляни под другим углом.

Сканы при различных углахпадения α, изменениепараметра решеки в плоскостиповерхности образца взависимости от глубины

GISAXS данные, отображаемыев программе DIFFRAC.LEPTOS

Обработка GISAXS данных впрограмме DIFFRAC.LEPTOS

27

In-plane конфигурация с подвеской Эйлера и держателем с независимыми наклонами

Моторизованный держатель с двумяосями наклона по ± 7.5° каждая

POLYCAP или MONTEL фокусирующаяоптика для точечного фокуса длянекомпланарых измерений

LYNXEYE и VÅNTEC-1 1-Dдетекторы, повернутые на 90°для накопления GISAXS сигналав режиме сканирования

VÅNTEC-500 2-D детектор длянакопления GISAXS сигнала врежиме мгновенного снимка(SNAPSHOT mode)

TWIN оптикаa)Экваториальныйколлиматор Соллераb)Моторизованнаящель

LYNXEYE,повернутый на90°

Поликапиллярная оптикаPOLYCAP дляформированияпараллельного пучка

UBCколлиматор

qy

qx

qz

2ΘIP-GID

2ΘGISAXS

ΘD

Θiαi

αi

αf

αf

Малоугловоерассеяниерентгеновских лучейв скользящейгеометрии (GISAXS)

Некомпланарная дифракция вскользящей геометрии: In-planeGrazing Incidence Diffraction(IP-GID)

28

D8 DISCOVER –дополнительнаяразмерность врентгеновскойдифракции 2

Лопатки турбин топливосберегающих реактивныхдвигателей, шестерни для коробок передач сминимальным собственным трением и высокимсопротивлением к вращающему моменту, память насегнетоэлектриках и органические ячейки солнечныхбатарей … для любого типа высокопроизводительногоузла информация о напряжениях или текстуре крайневажна с точки зрения функциональных возможностейконечного продукта.

Выполнение технических требований по анализу текстурыи остаточных напряжений часто не простая задача. Этосвязано с ограничениями самого дифракционного методакак такового. Проблемы обусловлены объемом иформой образцов, малым размером пятна и высокойпропускной способностью прибора при анализеобразцов. Следовательно, накопление данных спомощью точечных детекторов, линейных детекторовили двумерных детекторов с небольшой активнойобластью не практично и просто требует слишкоммного времени.

Добавление дополнительной размерности XRD2 –это способ справиться с этими проблемами!

Наш 2-х координатный детектор VÅNTEC-500является очевидным выбором для приложений поизучению напряжений и тектуры. VÅNTEC-500 имееточень большое окно, захватывающую большую область.Можно сразу захватить очень широкие из-за напряженийпики и несколько широких сечений Дебаевских конусов.VÅNTEC-500 – это точный счетчик фотонов, которыйгарантирует превосходное соотношение «сигнал-шум»,благодаря практически отсутствующему собственномушуму.

Имея почти 30-ти летний опыт пионерских разработокв области технологии двумерных детекторов, Bruker AXS представляет самую последнюю разработку- совершенно новый детектор VÅNTEC-500.

Этот детектор комбинируется с нашими передовымиметодиками измерения и первоклассным программнымобеспечением DIFFRAC.LEPTOS и DIFFRAC.MULTEX.

D8 DISCOVER – интегрированное решение для XRD2.

2

UMC держатель

VÅNTEC-500

VÅNTEC-500

Параллельный пучокпосле POLYCAP

Параллельный пучокпосле POLYCAP

UBC коллиматор

Анализ остаточныхнапряжений по 2D данным впрограмме DIFFRAC.LEPTOS

Анализ текстуры в программеDIFFRAC.MULTEX

29

Конфигурация для анализа остаточных напряжений, включающая детекторVÅNTEC-500 и UMC держатель образцов с весом до 50 кг

POLYCAP линзы для высокоскоростного,высокоинтенсивного анализа текстурыили напряжений

Интеллектуальное конфигурированиеизмерительных схем с помощью DIFFRAC.WIZARD

Определение текстуры, основанное накомпонентном методе или традиционномметоде сферических гармоник

Дебаевское кольцо в отсутствии напряжений

Отражение вотстутствиинапряжений

Дебаевское кольцо в присутствии напряжений

Случайная текстурнаякомпонента

Компоненты саксиальнойориентацией

Компонента спреимущественнойориентацией

+ + =

аксиальное сдвиговоеИзмерения нормальных и сдвиговыхостаточных напряжений (iso-inclination(ω) или side-inclination (ψ) геометрия)

Сверхбыстрые 2-D измерения напряженийс детектором VÅNTEC-500

Определение остаточных напряжений кактрадиционным sin²(psi) методом, так и понескольким отражениям (the multi hkl eval-uation method)

От нормального и сдвигового напряженияк полному тензору напряжений

Текстура,выявленнаярентгеновскойдифракцией вгеометрии XRD2

30

Конфигурация для микродифракции, содержащая детекторVÅNTEC-500 и UMC держатель с нагрузкой до 50 кг

Патентованная Laser-Video система дляточного позиционирования образца

Зеркало MONTEL для обеспечения высокойяркости в пятне

Не требующая инструмента,воспроизводимая замена коллиматора длябыстрого выбора размера пучка

UMC держатель

VÅNTEC-500

ЗеркалоMONTEL

Лазер

Видео

Правильное положениеобразца

Laser-Video микроскоп

31

D8 DISCOVER –попасть в нужнуюточкуПодложки с мезоструктурой, образцы для судебнойэкспертизы, включения в геологических материалах… у этих разнообразных образцов есть однаобщая черта: исследуемый объем очень мал. Дляэтих приложений наш запатентованный Laser-Video микроскоп и держатели, обеспечивающиепрецизионное перемещение, гарантируют, что Выточно измеряете интересующую Вас область -независимо от объема образца или его формы.

Если рентгеновский луч коллимируется в пятномикронных размеров, то, очевидно, что тольконесколько кристаллитов находятся в пучке идают дифракционную картину. Это приводит кнеоднородности дифрактограмм и слабостидифракционного сигнала.

Наш 2-мерный детектор VÅNTEC-500 - этонеобходимый выбор, чтобы измерять такиедифракционные картины низкого качества. Егобеспрецедентное соотношение “сигнал-шум” иочень большая активная область позволяютобнаруживать даже самые слабые дифракционныесигналы. Другое преимущество - использованиепростого интегрирования дифракционного сигналавдоль дебаевских конусов для преобразовываниядвумерной дифракционной картинки в обычнуюдифрактограмму для дальнейшегоанализа. В этомотношении, наш VÅNTEC-500 предлагает большевозможностей по сравнению с обычными 0-D, 1-Dили 2-D детекторами с малой активной площадью,позволяя Вам работать с данными так, как Выпривыкли это делать. Следовательно, значимостьи качество Ваших результатов становится тольколучше.

Чтобы еще увеличить интенсивность первичногопучка, просто используйте наш яркий источникрентгеновского излучения TURBO X-RAY SOURCEв комбинации со специализированной оптикойMONTEL.

D8 DISCOVER – единственнаянастоящая микродифракция!

Позиционирование точки измерения спомощью Laser-Video микроскопа

Накопление данных в программеDIFFRAC.COMMANDER

Качественный фазовый анализ подифрактограммам, полученным путеминтегрирования 2-D снимков, впрограмме DIFFRAC.EVA

Конфигурации Горизонтальный или вертикальный гониометр, Theta/Theta или Theta/2Theta геометрия

Диаметр измерительного круга Любое промежуточное значение между 500 мм и 1,080 мм(в зависимости от конфигурации)

Угловой диапазон 360° (без аксессуаров)Макс. используемый угловойдиапазон

–110° < 2Theta ≤ 168°

(в зависимости от аксессуаров) Угловое позиционирование Шаговые двигатели с оптическими кодирующими устройствами (энкодерами)

Наименьшее адресуемое приращение 0.0001°

Максимальная угловая скорость 20°/с(в зависимости от аксессуаров)

Детекторы 0-D:Сцинтилляционный счётчикSOL-XE: точный энергодисперсионный твердотельный детектор1-D:LYNXEYE: покрывает 14.4 х 16 мм² 192 каналамиVÅNTEC-1: покрывает 50 х 16 мм² 1500 каналами2-D:VÅNTEC-500: 135 мм диаметр активной области с 4,000,000 каналов

Гарантия отсутствия дефектных/«мертвых» полос или областей для всехдетекторов

Источники рентгеновского излучения

Рентгеновская трубкаTWIST-TUBE - быстрое и легкое переключение между линейным и точечным фокусомTURBO X-RAY SOURCE: от 1,2 кВт до 18 кВт, в зависимости от размера фокуса и типа анода

Необходимая площадь и требования к инфраструктуре

Внешние размеры 202 x 168 x 129 см (В x Ш x Г)

Вес 945 кг(без дополнительных аксессуаров)

Подача воды для охлаждения

Энергоснабжение Однофазное: от 208 до 240 ВТрехфазное: 120 В, 230 В, 240 В 47 ... 63 Гц

Максимальное энергопотребление 6.5 кВА(без контроллеров для дополнительногооборудования)

Технические параметры

Мин. 4 л/мин, давление от 4 до 7.5 бар, без давления на стороне слива,температура: от 10 °C до 20 °C(без дополнительного внутреннего

устройства охлаждения)

www.bruker.сomwww.bruker.ru

�������������� ������������� ���������������� ��������������� �������������������������������������������� ������������������������

�����(�12)�92����55�����(�4�)��45��592�����(�4�)�264�46�7�����(���)�416��660�����(�912)�49�4960

����������1����� �!"#$%&'�*+*#$+,�-."#-�$/ �47�������+8�495�9�:�����������+8�495�5029006;&$#��+8�495�5029007<r=y@bruker>ruwww.bruker.ru