0101SC1

SC2

SC3

MC22

MC72

CCV

MCV

CV

CVA2

EC1

CVF

MCA

HDV

HFV

CVZ

SC1

SC2

SC3

MC22

MC72

CCV

MCV

CV

CVA2

EC1

CVF

MCA

HDV

HFV

CVZ

CONVUM CONVUM

定番のユニット形コンバム

アルミボディ

フレキシブルな組み合わせ選択が可能

コンバム本体／圧力センサ／真空破壊バルブ 組み合わせ自由破壊バルブ／圧力センサ選択 後付け可能デジタル式センサ搭載選択サイレンサ標準搭載

丈夫で長持ち

シンプル構成 ロングセラー

カスタマイズ可能

多機能独立形コンバムシリーズ

CONVUM多機能独立形コンバム

CVA201

SeriesCVA2コンバム　多機能独立形コンバム

コンバム　多機能独立形コンバム

117

0101SC1

SC2

SC3

MC22

MC72

CCV

MCV

CV

CVA2

EC1

CVF

MCA

HDV

HFV

CVZ

SC1

SC2

SC3

MC22

MC72

CCV

MCV

CV

CVA2

EC1

CVF

MCA

HDV

HFV

CVZ

CONVUM CONVUM

形式番号

⑧⑦④① ③ ⑥② ⑤

①ノズルタイプ

記号 ノズル径［mm］

05 0.5

10 1.0

15 1.5

②到達真空圧力［kPa］記号 タイプ 真空圧力

H 圧力形 -87

L流量形

-53

Q -46

③定格圧力［MPa］S 0.5

R 0.35

① ② ③S R

05

H ○ ×

L ○ ×

Q × ×

10

H ○ ○

L ○ ×

Q ○ ○

15

H ○ ○

L ○ ×

Q ○ ○

※①②③組み合わせ表 ノズル別仕様ノズル仕様

定格圧力［MPa］

到達真空圧力［kPa］

吸込流量［L/min（ANR）］

空気消費量［L/min（ANR）］

05HS

0.5

-87 613

05LS -57 9

10HS -92 27

44

10LS -57 36

10QS -47 54

10HR0.35

-91 25

10QR -47 50

15HS

0.5

-92 63

100

15LS -57 95

15QS -47 136

15HR0.35

-91 54

15QR -47 123④圧力センサ記号 搭載センサ 圧力範囲［kPa］ 表示 スイッチ出力 アナログ

出力AB MVS-030AB -101～ 0 LED NPN1点 なし

V CVA-V -73.2～-33.3 なし 有接点1点 なし

無記号 センサなし※PNP出力タイプについてはお問い合わせください。

⑤破壊バルブ記号 仕様

無記号 なし

DN 破壊流量調整式

⑦供給空気流路状態A 常時開

B 常時閉

⑧電磁弁配線方法⑥電磁弁電圧［V］記号 電圧

4 DC24

100 AC100

200 AC200

CVA2　05　　H　　S　　AB　　DN　　4　　B　　L

商品コード 形式番号ノズル径（mm) 搭載圧力センサ 破壊バルブ

仕　様

空気流路状態

202500013

202500015

202500020

202500058

202500064

202500087

CVA2-05HS4BL

CVA2-10HS4BL

CVA2-15HS4BL

CVA2-05HSABDN4BL

CVA2-10HSABDN4BL

CVA2-15HSABDN4BL

0.5

1.0

1.5

0.5

1.0

1.5

なし

なし

なし

電子式センサ

電子式センサ

電子式センサ

なし

なし

なし

付

付

付

常時閉

常時閉

常時閉

常時閉

常時閉

常時閉

オススメします ! 以下の形式は、この製品の特長を活かしつつ、一般的なご使用に必要な機能を満たしております。選定の際には、是非ご活用ください。 ※選定については、弊社営業までお気軽にご相談下さい。

L リード線付コネクタ（ランプ・サージキラー付）

D DINタイプ（ランプ付・リード線なし）

※DINタイプはAC100、AC200のみになります。

多機能独立形コンバムシリーズ

CONVUM多機能独立形コンバム

CVA201

SeriesCVA2コンバム　多機能独立形コンバム

コンバム　多機能独立形コンバム

118

0101SC1

SC2

SC3

MC22

MC72

CCV

MCV

CV

CVA2

EC1

CVF

MCA

HDV

HFV

CVZ

SC1

SC2

SC3

MC22

MC72

CCV

MCV

CV

CVA2

EC1

CVF

MCA

HDV

HFV

CVZ

CONVUM CONVUM

多機能独立形コンバムCVA2 多機能独立形コンバムCVA2

コンバム　多機能独立形コンバム

コンバム　多機能独立形コンバム

119

保守部品形式番号　

CA2　ー　V4　ー　6

無記号 3006 60010 100020 200030 3000

リード線長さ（mm）

・DC24V

CVA　ー　100　 L

100 AC100200 AC200

L コネクタタイプ（ランプ・サージキラー付）

D DIN タイプ（ランプ付・リード線なし）

・AC100V、AC200V

CKV010-4E真空発生用

※リード線長さ 300mm※ガスケット・取付ねじ付

形式 仕様CVA-DN 破壊流量調整式

形式 対応本体形式MSS-01 CVA2-05、 10H/LMSS-03 CVA2-10QMSM-01 CVA2-15H/LMSM-02 CVA2-15Q

注文形式MVS-030AB-CVA

CVA-V

CVーCK

電磁弁1

電磁弁（CKV010-4E用）コネクタ　※リード線付2 破壊バルブ3

サイレンサ4

圧力センサ5

CVA-V用スイッチユニット6

6 CVA-V用スイッチユニット

4 サイレンサ

3 破壊バルブ

5 圧力センサ

1 電磁弁

2 電磁弁コネクタ

0101SC1

SC2

SC3

MC22

MC72

CCV

MCV

CV

CVA2

EC1

CVF

MCA

HDV

HFV

CVZ

SC1

SC2

SC3

MC22

MC72

CCV

MCV

CV

CVA2

EC1

CVF

MCA

HDV

HFV

CVZ

CONVUM CONVUM

多機能独立形コンバムCVA2 多機能独立形コンバムCVA2

コンバム　多機能独立形コンバム

コンバム　多機能独立形コンバム

120

コンバム仕様　

破壊バルブ仕様　

項目＼形式番号 単位CVA2-05 CVA2-10 CVA2-15HS LS HS LS QS HR QR HS LS QS HR QR

ノズル径 mm 0.5 1.0 1.5使用流体 無給油圧縮空気周囲温度 ℃ 0～60（但し、凍結しないこと）使用圧力範囲 MPa 0.2～0.6供給空気流路状態 常時開（A）・常時閉（B）定格圧力 MPa 0.5 0.35 0.5 0.35到達真空圧力 kPa -87 -57 -92 -57 -47 -91 -47 -92 -57 -47 -91 -47吸込流量 L/min(ANR) 6 9 27 36 54 25 50 63 95 136 54 123空気消費量 L/min(ANR) 13 44 100

項目＼形式番号 単位 CVA-DN

使用流体 無給油圧縮空気

使用圧力範囲 MPa 0.3～0.6真空破壊時間 S 0.3～3注1

周囲温度 ℃ 0～60注2

真空破壊流量 L/min　　　(ANR) MAX.50

質量 g 140注1）�定格圧力0.5MPa時の調整範

囲です。注2）�5°C以下で使用する場合は凍

結する恐れがあります。エアドライヤを通した空気をご使用ください。

電磁弁仕様　

項目＼形式番号 単位 CKV010-4E CVA-100L/D CVA-200L/D弁構造 3ポート直動ポペット弁 3ポートパイロット式ポペット弁定格電圧 V DC24 AC100 AC200許容電圧変動 ％ ±10周波数 Hz - 50/60

消費電力（電流値） W(mA) 1（42） 2.0（20）/1.6（16） 2.3（12）/1.8（9）絶縁クラス B種相当手動操作 ノンロック方式

表示・サージキラー LED・ダイオード L：サージキラー・ランプ付/ D：ランプ付配線 リード線付コネクタ（300mm） L：リード線300mm/D：リード線なし

質量（リード線含む） g 15.3 53 52

圧力センサ仕様　

質量表（g）

項目＼形式番号 単位 MVS-030AB-CVA CVA-V適用流体 空気（真空）、非腐食性ガス、不燃性ガス検出部構造 シリコンダイヤフラム -定格圧力範囲 kPa -101～ 0 -設定圧力範囲 kPa -101.2 ～ -2.7 -73.2 ～ -33.3保証耐圧力 MPa 0.5

周囲温度 ℃ 0～50（但し、凍結しないこと）

0～60（但し、凍結しないこと）

周囲湿度 %RH 35～85(但し、結露しないこと）

電源電圧 V DC12～24±10％、リップル（Vp-p)10％以下 AC125、250

消費電流 mA 20 -接点構造 - 有接点　常時開　

スイッチ出力

出力形態 NPNオープンコレクタ、1点出力 -

最大負荷電流 mA 80 AC125：5、AC250：3繰返し精度 % ±3F.S. -応答時間 ms 2以下 -表示 LED赤色（ON時点灯） -

保護階級 IP40電気接続部 グロメット グロメットケーブル仕様 Φ4 3芯X0.15mm 2m 100mm

仕様

ノズルサイズ 圧力センサ 破壊バルブ（DN）付 なし

05.10タイプなし 388 224

MVS-030AB付 491 328CVA-V付 522 358

15タイプなし 435 271

MVS-030AB付 538 375CVA-V付 569 405

仕様

ノズルサイズ 圧力センサ 破壊バルブ（DN）付 なし

05.10タイプなし 425 261

MVS-030AB付 528 364CVA-V付 559 395

15タイプなし 472 308

MVS-030AB付 575 411CVA-V付 606 442

仕様

ノズルサイズ 圧力センサ 破壊バルブ（DN）付 なし

05.10タイプなし 428 264

MVS-030AB付 531 367CVA-V付 562 398

15タイプなし 475 311

MVS-030AB付 578 414CVA-V付 609 445

電磁弁：24Vリード線付コネクタタイプ

電磁弁：100V、200Vリード線付コネクタタイプ

電磁弁：100V、200VDINタイプ

0101SC1

SC2

SC3

MC22

MC72

CCV

MCV

CV

CVA2

EC1

CVF

MCA

HDV

HFV

CVZ

SC1

SC2

SC3

MC22

MC72

CCV

MCV

CV

CVA2

EC1

CVF

MCA

HDV

HFV

CVZ

CONVUM CONVUM

多機能独立形コンバムCVA2 多機能独立形コンバムCVA2

コンバム　多機能独立形コンバム

コンバム　多機能独立形コンバム

121

構造図　

主要部品部番 部品名称 材質1 真空発生用電磁弁 -2 側板A アルミニウム、NBR3 CVA2本体 アルミニウム4 スプールAssy's -5 側板B 黄銅、アルミニウム、NBR6 ノズルAssy's 黄銅、アルミニウム、NBR7 サイレンサ POM、羊毛フェルト

CVA2

V

P

V V

1 2 3

6

0000

7

4 5

P P

0101SC1

SC2

SC3

MC22

MC72

CCV

MCV

CV

CVA2

EC1

CVF

MCA

HDV

HFV

CVZ

SC1

SC2

SC3

MC22

MC72

CCV

MCV

CV

CVA2

EC1

CVF

MCA

HDV

HFV

CVZ

CONVUM CONVUM

多機能独立形コンバムCVA2 多機能独立形コンバムCVA2

コンバム　多機能独立形コンバム

コンバム　多機能独立形コンバム

122

図記号　

P

V

P

P

V

V

V

P

P

V

P

V

P

VV

P

CVA2-回路図

真空センサ、破壊バルブ付常時閉常時開

破壊バルブ付常時閉常時開

常時閉常時開真空センサ付

常時閉常時開真空センサ、破壊バルブなし

真空センサ、破壊バルブなしSC1エア回路図（自己保持）P

0101SC1

SC2

SC3

MC22

MC72

CCV

MCV

CV

CVA2

EC1

CVF

MCA

HDV

HFV

CVZ

SC1

SC2

SC3

MC22

MC72

CCV

MCV

CV

CVA2

EC1

CVF

MCA

HDV

HFV

CVZ

CONVUM CONVUM

多機能独立形コンバムCVA2 多機能独立形コンバムCVA2

コンバム　多機能独立形コンバム

コンバム　多機能独立形コンバム

123

CVA2

0

20

40

60

80

100

120-100

-90

-80

-70

-60

-50

-40

-30

-20

-10

00 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6

空気消費量、吸込流量

L/m

in (A

NR

)

到達真空圧力

kPa

供給空気圧力MPa

到達真空圧力

空気消費量

吸込流量

0

5

10

15

20

25

30

35

40

45

50-100

-90

-80

-70

-60

-50

-40

-30

-20

-10

00 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6

空気消費量、吸込流量

L/m

in (A

NR

)

到達真空圧力

kPa

供給空気圧力MPa

到達真空圧力

空気消費量

吸込流量0

5

10

15

20

25

30

35

40

45

50-100

-90

-80

-70

-60

-50

-40

-30

-20

-10

00 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6

空気消費量、吸込流量

L/m

in (A

NR

)

到達真空圧力

kPa

供給空気圧力MPa

到達真空圧力

空気消費量

吸込流量

0

20

40

60

80

100

120-100

-90

-80

-70

-60

-50

-40

-30

-20

-10

00 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6

空気消費量、吸込流量

L/m

in (A

NR

)

到達真空圧力

kPa

供給空気圧力MPa

性能グラフ

到達真空圧力

空気消費量

吸込流量

0

20

40

60

80

100

120-100

-90

-80

-70

-60

-50

-40

-30

-20

-10

00 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6

空気消費量、吸込流量

L/m

in (A

NR

)

到達真空圧力

kPa

供給空気圧力MPa

到達真空圧力

空気消費量

吸込流量

0

20

40

60

80

100

120-100

-90

-80

-70

-60

-50

-40

-30

-20

-10

00 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6

空気消費量、吸込流量

L/m

in (A

NR

)

到達真空圧力

kPa

供給空気圧力MPa

到達真空圧力

空気消費量

吸込流量

0

20

40

60

80

100

120-100

-90

-80

-70

-60

-50

-40

-30

-20

-10

00 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6

空気消費量、吸込流量

L/m

in (A

NR

)

到達真空圧力

kPa

供給空気圧力MPa

到達真空圧力

空気消費量

吸込流量

0

20

40

60

80

100

120

140-100

-90

-80

-70

-60

-50

-40

-30

-20

-10

00 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6

空気消費量、吸込流量

L/m

in (A

NR

)

到達真空圧力

kPa

供給空気圧力MPa

到達真空圧力

空気消費量

吸込流量

0

20

40

60

80

100

120

140-100

-90

-80

-70

-60

-50

-40

-30

-20

-10

00 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6

空気消費量、吸込流量

L/m

in (A

NR

)

到達真空圧力

kPa

供給空気圧力MPa

到達真空圧力

空気消費量

吸込流量

0

20

40

60

80

100

120

140-100

-90

-80

-70

-60

-50

-40

-30

-20

-10

00 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6

空気消費量、吸込流量

L/m

in (A

NR

)

到達真空圧力

kPa

供給空気圧力MPa

到達真空圧力

空気消費量

吸込流量

0

20

40

60

80

100

120

140-100

-90

-80

-70

-60

-50

-40

-30

-20

-10

00 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6

空気消費量、吸込流量

L/m

in (A

NR

)

到達真空圧力

kPa

供給空気圧力MPa

到達真空圧力

空気消費量

吸込流量

0

20

40

60

80

100

120

140-100

-90

-80

-70

-60

-50

-40

-30

-20

-10

00 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6

空気消費量、吸込流量

L/m

in (A

NR

)

到達真空圧力

kPa

供給空気圧力MPa

到達真空圧力

空気消費量

吸込流量

05HS 05LS 10HS

10LS 10QS 10HR

10QR 15HS 15LS

15QS 15HR 15QR

性能グラフ　

0101SC1

SC2

SC3

MC22

MC72

CCV

MCV

CV

CVA2

EC1

CVF

MCA

HDV

HFV

CVZ

SC1

SC2

SC3

MC22

MC72

CCV

MCV

CV

CVA2

EC1

CVF

MCA

HDV

HFV

CVZ

CONVUM CONVUM

多機能独立形コンバムCVA2 多機能独立形コンバムCVA2

コンバム　多機能独立形コンバム

コンバム　多機能独立形コンバム

124

CVA2

-100

-90

-80

-70

-60

-50

-40

-30

-20

-10

00 5 10 15

到達真空圧力

kPa

吸込流量 L /min(ANR)

05HS吸込流量・真空圧力特性

-100

-90

-80

-70

-60

-50

-40

-30

-20

-10

00 5 10 15

到達真空圧力

kPa

吸込流量 L /min(ANR)

05LS吸込流量・真空圧力特性

-100

-90

-80

-70

-60

-50

-40

-30

-20

-10

00 5 10 15

到達真空圧力

kPa

吸込流量 L /min(ANR)

10HS吸込流量・真空圧力特性

-100

-90

-80

-70

-60

-50

-40

-30

-20

-10

00 20 40 60

到達真空圧力

kPa

吸込流量 L /min(ANR)

-100

-90

-80

-70

-60

-50

-40

-30

-20

-10

00 20 40 60

到達真空圧力

kPa

吸込流量 L /min(ANR)

-100

-90

-80

-70

-60

-50

-40

-30

-20

-10

00 20 40 60

到達真空圧力

kPa

吸込流量 L /min(ANR)

-100

-90

-80

-70

-60

-50

-40

-30

-20

-10

00 20 40 60

到達真空圧力

kPa

吸込流量 L /min(ANR)

-100

-90

-80

-70

-60

-50

-40

-30

-20

-10

00 20 40 60 80 100 120 140

到達真空圧力

kPa

吸込流量 L/min(ANR)

-100

-90

-80

-70

-60

-50

-40

-30

-20

-10

00 20 40 60 80 100 120 140

到達真空圧力

kPa

吸込流量 L /min(ANR)

-100

-90

-80

-70

-60

-50

-40

-30

-20

-10

00 20 40 60 80 100 120 140

到達真空圧力

kPa

吸込流量 L /min(ANR)

-100

-90

-80

-70

-60

-50

-40

-30

-20

-10

00 20 40 60 80 100 120 140

到達真空圧力

kPa

吸込流量 L /min(ANR)

-100

-90

-80

-70

-60

-50

-40

-30

-20

-10

00 20 40 60 80 100 120 140

到達真空圧力

kPa

吸込流量 L /min(ANR)

05HS 05LS 10HS

10LS 10QS 10HR

10QR 15HS 15LS

15QS 15HR 15QR

吸込流量・真空圧力特性　

0101SC1

SC2

SC3

MC22

MC72

CCV

MCV

CV

CVA2

EC1

CVF

MCA

HDV

HFV

CVZ

SC1

SC2

SC3

MC22

MC72

CCV

MCV

CV

CVA2

EC1

CVF

MCA

HDV

HFV

CVZ

CONVUM CONVUM

多機能独立形コンバムCVA2 多機能独立形コンバムCVA2

コンバム　多機能独立形コンバム

コンバム　多機能独立形コンバム

125

∅1.2 ∅∅Ă∅

46(AC:D)

9.9

203.234.5(AC:L)

2-∅3.5（∅6.5座ぐり深さ4）（真空スイッチ取付用）

電磁弁

コネクタ：リード線長さ：300DIN:リード線無し

マニュアルボタン

Rc1/8

V:真空口

真空スイッチ連絡口

28.5(DC:L)

35.4

18.4

38.93-Ｍ3（破壊バルブ取付用）

Rc1/8

P：供給口

3-破壊バルブ連絡口

2-∅4.5（取付穴）

∅18.5

15.5

50.5

35 70.3

34

55

CVA2-05・10(センサ・スイッチ・破壊バルブ無し)(S=0.57)

外形寸法図

CVA2-05、10

∅1.2 ∅∅Ă∅

CVA2-05・10（真 空センサ付）(S=0.57)

45（AB）20

25

9

20(A

B)

ケーブル長さ：2000

∅1.2 ∅∅Ă∅

CVA2-05・10(破壊バルブCVA-DN付)(S=0.57)

18°

20

29

3035

破壊流量調節ねじ

破壊時間調節ツマミ

85MAX：15

センサ・スイッチ・破壊バルブなし

破壊バルブ（CVA-DN）付

センサ（MVS-030AB-CVA）付

0101SC1

SC2

SC3

MC22

MC72

CCV

MCV

CV

CVA2

EC1

CVF

MCA

HDV

HFV

CVZ

SC1

SC2

SC3

MC22

MC72

CCV

MCV

CV

CVA2

EC1

CVF

MCA

HDV

HFV

CVZ

CONVUM CONVUM

多機能独立形コンバムCVA2 多機能独立形コンバムCVA2

コンバム　多機能独立形コンバム

コンバム　多機能独立形コンバム

126

∅1.2 ∅∅Ă∅

CVA2-05・10（CVA-V付）(S=0.57)

34

25

リード線長さ：100

調節ねじ

88MAX：14.5

（mm）

∅1.2 ∅∅Ă∅

CVA2-05・10（真 空スイッチ・破壊バルブ付）(S=0.57)

MAX：15 85

35

29

20

20(A

B)

9

25

20 45（AB）

∅1.2 ∅∅Ă∅

CVA2-05・10（CVA-V）(CVA-DN)付(S=0.57)

リード線長さ：100

MAX：14.5 88

25

34

MAX：15 85

3029

20

真空スイッチ（CVA-V）付

真空スイッチ（CVA-V）・破壊バルブ（CVA-DN）付

圧力センサ（MVS-030AB-CVA）・破壊バルブ（CVA-DN）付

0101SC1

SC2

SC3

MC22

MC72

CCV

MCV

CV

CVA2

EC1

CVF

MCA

HDV

HFV

CVZ

SC1

SC2

SC3

MC22

MC72

CCV

MCV

CV

CVA2

EC1

CVF

MCA

HDV

HFV

CVZ

CONVUM CONVUM

多機能独立形コンバムCVA2 多機能独立形コンバムCVA2

コンバム　多機能独立形コンバム

コンバム　多機能独立形コンバム

127∅1.2 ∅∅Ă∅

CVA2-15(真空センサ付)(S=0.57)

ケーブル長さ：2000

9

25(AB)

20(AB)

20 45(AB)

∅1.2 ∅∅Ă∅

CVA2-15(破壊バルブCVA-DN付)(S=0.57)

18°

破壊流量調節ねじ

303529

20

破壊時間調節ツマミ

85ＭAＸ15

外形寸法図

∅1.2 ∅∅Ă∅

46(AC:D)

マニュアルボタン

203.29.9

55.5

35.4

∅20

38.9

34.5(AC：L）

電磁弁コネクタ：リード線長さ：300DIN：リード線無し

60

3-Ｍ3（破壊バルブ取付用）

28.5（DC：L）

84.845.5真空スイッチ連絡口

2-∅3.5　∅6.5ザグリ深4　　（真空スイッチ取付用）

サイレンサ（MSM）

3-破壊バルブ連絡口

2-∅4.5（取付穴）

18.445

Rc1/4

Ｐ：供給口

Rc1/4

Ｖ：真空口

17

CVA2-15(センサ・スイッチ・破壊バルブなし)(S=0.57)

CVA2-15センサ・スイッチ・破壊バルブなし

破壊バルブ（CVA-DN）付

センサ（MVS-030AB-CVA)付

0101SC1

SC2

SC3

MC22

MC72

CCV

MCV

CV

CVA2

EC1

CVF

MCA

HDV

HFV

CVZ

SC1

SC2

SC3

MC22

MC72

CCV

MCV

CV

CVA2

EC1

CVF

MCA

HDV

HFV

CVZ

CONVUM CONVUM

多機能独立形コンバムCVA2 多機能独立形コンバムCVA2

コンバム　多機能独立形コンバム

コンバム　多機能独立形コンバム

128

（mm）

∅1.2 ∅∅Ă∅

CVA2-15(CVA-V付)(S=0.57)

調節ねじ

リード線長さ：100

MAX14.5 88

25

34

∅1.2 ∅∅Ă∅

ケーブル長さ：2000

2.5

9

25(AB)

20(AB)

MAX15 85 20

29

35

45(AB)20

∅1.2 ∅∅Ă∅

CVA2-15(CVA-V)(CVA-DN)付(S=0.57)

リード線長さ：100

530

20

29

25

34MAX14.5 88

85ＭAＸ15

真空スイッチ（CVA-V）付

真空スイッチ（CVA-V）・破壊バルブ（CVA-DN）付

圧力センサ（MVS-030AB-CVA）・破壊バルブ（CVA-DN）付